仕様
| マスフロー | |||
|---|---|---|---|
| フルスケール流量
0.05
| 0.05 | slm | |
| フルスケール流量
50
| 50 | sccm | |
| 精度
0.2%FS or 2% SP
| 0.2%FS or 2% SP | ||
| 最高使用圧力
10
| 10 | bar | |
| キャリブレーション
Air, O2, N2, Ar, CO2, He, H2, CH4 and N2O
| Air, O2, N2, Ar, CO2, He, H2, CH4 and N2O | flow | |
| 流体コネクタポート
Legris
| Legris |
| Generic | |||
|---|---|---|---|
| 供給電圧
14 - 26.4
| 14 - 26.4 | V | |
| 平均供給電流
75000
| 75000 | uA | |
| 最大供給電流
120000
| 120000 | uA | |
| インターフェイス
Device net, RS485
| デバイスネット,RS485 | ||
| サイズ (LxWxH)
105 x 38.5 x 90.5
| 105 x 38.5 x 90.5 | mm³ |
技術ダウンロード
センサーの評価
このセンサーを評価するために、以下の製品を購入します。
| 名称 | 説明 | シリーズ | カテゴリ |
|---|---|---|---|
 EK-F5x | SFCおよびSFM評価キットSFC5x00、SFM5x00, SFC6xxx, SFM6xxx | EK-F5x | マスフローコントローラー |
各ビューワーソフトをダウンロードして、測定を開始します
ダウンロードセンターへ評価キットでセンサーのテストが簡単に始められます
開始までの流れ最新情報 マスフローコントローラー
portfolio.Active
SFC6000
優れた価格性能比、カスタマイズ可能
- センサー
- マスフローコントローラー
portfolio.Active
SFC6000D-50slm
優れた価格性能比、流通、50 slm
- センサー
- マスフローコントローラー
portfolio.Active
SFC6000D-20slm
優れた価格性能比、流通、20 slm
- センサー
- マスフローコントローラー
portfolio.Active
SFC6000D-5slm
優れた価格性能比、流通、5 slm
- センサー
- マスフローコントローラー
portfolio.Active
SFC5460
Versatile MFC for OEM projects with high unit quantities
- センサー
- マスフローコントローラー
portfolio.Active
SFC5500-2slm
汎用マスフローコント ローラー、オンライン 流通、2 slm
- センサー
- マスフローコントローラー
portfolio.Active
SFC5330
コスト重視のOEMプロジェクトで大量生産するための小型MFC
- センサー
- マスフローコントローラー
アプリケーション用のスマートセンサー
センシリオンのセンサーソリューションは、幅広いアプリケーションと市場で使用されています。当社の信頼性の高い環境センサーとフローセンサーは、エネルギー効率を改善し、健康を増進し、安全性と快適性を確保します。