マスフローコントローラー「SFC5500」シリーズは、ガスフローの精密制御においてセンシリオンが歩んできた20年間の実績の集大成です。このセンサーはマイクロサーマル測定原理に基づいており、当社の実績のあるCMOSens® MEMS技術を活用しています。これにより、当社はクラス最高のパフォーマンスと優れた信頼性を備えた非常に素晴らしいマスフローコントローラーを作ることができました。本製品は市場に出ている他製品とは異なり、ドリフトすることがなく、市場で再校正する必要がありません。 CMOSens® MEMSフローセンサーが実現出来る幅広い流量制御範囲によって、「SFC5500」シリーズは一台の製品で従来のマスフローコントローラーの複数の流量範囲に対応できます。複数のガス校正と交換可能な継手を組み合わせた「SFC5500」シリーズは、幅広い用途に適した標準品として入手可能な市場初のマスフローコントローラーです。この汎用性のおかげで、「SFC5500」シリーズはカタログ販売を通じて購入できる初のマスフローコントローラーでもあります。 「SFC5500」シリーズは、センシリオン製のクラス最高のマスフローコントローラー「SFC5xxx」ファミリーを補完します。本製品は「SFC5400」と同等の上位パフォーマンスを誇るため、医療、分析、産業の環境での幅広い用途に適しています。但し、高度な設定が可能な「SFC5400」シリーズとは異なり、マスフローコントローラー「SFC5500」シリーズは標準的な設定済みのバリエーションからお選びいただきます。それ以外のガス、流量範囲、継手、インターフェースが必要な場合は、「SFC5400」またはコストパフォーマンスの高いOEM専用の「SFC5300」をご欄ください。 マスフローメーターをお探しの方には、同等のパフォーマンスを発揮し、SFC5500の姉妹品でバルブ無しの「SFM5500」があります。
マスフロー | |||
---|---|---|---|
フルスケール流量
0.05
| 0.05 | slm | |
フルスケール流量
50
| 50 | sccm | |
精度
0.2%FS or 2% SP
| 0.2%FS or 2% SP | ||
最高使用圧力
10
| 10 | bar | |
キャリブレーション
Air, O2, N2, Ar, CO2, He, H2, CH4 and N2O
| Air, O2, N2, Ar, CO2, He, H2, CH4 and N2O | flow | |
流体コネクタポート
Legris
| Legris |
Generic | |||
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供給電圧
14 - 26.4
| 14 - 26.4 | V | |
平均供給電流
75000
| 75000 | uA | |
最大供給電流
120000
| 120000 | uA | |
インターフェイス
Device net, RS485
| デバイスネット,RS485 | ||
サイズ (LxWxH)
105 x 38.5 x 90.5
| 105 x 38.5 x 90.5 | mm³ |
このセンサーを評価するために、以下の製品を購入します。
名称 | 説明 | シリーズ | カテゴリ |
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EK-F5x | SFCおよびSFM評価キットSFC5x00、SFM5x00, SFC6xxx, SFM6xxx | EK-F5x | マスフローコントローラー |
センシリオンのセンサーソリューションは、幅広いアプリケーションと市場で使用されています。当社の信頼性の高い環境センサーとフローセンサーは、エネルギー効率を改善し、健康を増進し、安全性と快適性を確保します。