MEMS（微小電気機械システム）技術の進歩によって、熱式質量流量測定の原理が1つのシリコンチップで実現できるようになりました。チップの高集積化CMOSプロセスが効率的な小型化と大量生産を可能にしました。こうした技術的な進化によって、熱式質量計量技術のコストは劇的に低減され、ハイエンドのアプリケーションだけでなく、使い捨てのフローセンサーやガスメーターなどの低コスト・大量生産のデバイスにとっても魅力的なソリューションとなりました。

ガス計量の熱式質量技術

センシリオンが熱式質量技術をガスメーターに応用したのは2000年代初頭のことですが、世界初の画期的な出来事でした。この実装は、優れた精度、コンパクトなサイズ、超低消費電力（バッテリー駆動のガスメーターには不可欠）、そして何よりも、コストが魅力的というさまざまなメリットを実現しました。後者は、フローセンサー、信号処理・分析用電子機器、校正データのストレージを1つの半導体チップに統合することで実現しました。フローセンサーとは別に、熱式質量センサーはガスのさまざまな熱特性を容易に測定することができ、ガス組成の変化を補正することができます。そのため、熱式質量ガスメーターは、幅広い組成の天然ガス、あるいは水素混合ガスや純水素の消費量を測定するのに最適です。

2007年、世界初の熱式質量ガスメーターが市場に設置されました。当初は緩やかなスピードではあったものの、近年、急速に普及が進み、現在では全世界で600万台以上のガスメーターがガス流量測定方法を採用しています。さらに、センシリオンの熱式質量フローセンサーは、3,300万台の自動車と4,500万台の医療機器に搭載されています。当初、ガスメーターへの採用が遅れた最大の要因は、市場での実績不足でした。熱式質量技術の実用性は、さまざまなアプリケーションで実証されてきましたが、堅牢な性能、安全性、信頼性を何よりも重視するガスメーター業界にとっては、新しい技術という認識でした。

世界各国政府、あるいは国際規格で、ガスメーターの要求精度を規定しています。精度のレベルはそれぞれ異なりますが、世界的に最も広く使用されているのは「クラス1.5」です。OIML R137およびEN 17526（2021年に発令される熱式質量ガス計量の専用規格）では、温度補償されたクラス1.5のガスメーター（熱式質量メーターなど）の最大許容誤差（MPE）を、高流量域で2%、低流量域で3.5%と定めています。OIML R137は、フィールドサービス後に再測定するメーターについては、MPEの2倍（3.5%/6.5%）に規定しています。つまり「MPEの2倍」は、メーターの稼働期間中（通常10～15年）にクリアしなければならない基準として広く認識されています。

Gaszähler basierend auf thermischem Massenflussmessprinzip

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