製品カタログ

フィルター

SFC6000-OEM

優れた価格性能比、カスタマイズ可能

フルスケール流量
2, 5, 20 and 50 slm
精度
0.2% FS or 2% SP
キャリブレーション
Air, N₂, O₂, N₂O, Ar, CO₂ and other non-aggressive gasses flow
最高使用圧力
10 bar
流体コネクタポート
Push-in 6mm, downmount
インターフェイス
Analog voltage, I²C, RS485
供給電圧
22.8 - 25.2 V
サイズ (LxWxH)
102 x 45 x 20 mm³
  • センサー
  • マスフローコントローラー

SFC6000D-5slm

優れた価格性能比、流通、5 slm

フルスケール流量
5 slm
精度
0.2% FS or 2% SP
キャリブレーション
Air, N₂, O₂, N₂O, Ar and CO₂ flow
最高使用圧力
10 bar
流体コネクタポート
Push-in 6mm, downmount
インターフェイス
I²C, RS485
供給電圧
22.9 - 25.9 V
サイズ (LxWxH)
102 x 45 x 20 mm³
  • センサー
  • マスフローコントローラー

SFC6000D-50slm

優れた価格性能比、流通、50 slm

フルスケール流量
50 slm
精度
0.2% FS or 2% SP
キャリブレーション
Air, N₂, O₂, N₂O and Ar and CO₂ flow
最高使用圧力
10 bar
流体コネクタポート
Push-in 6mm, downmount
インターフェイス
I²C, RS485
供給電圧
22.8 - 25.2 V
サイズ (LxWxH)
102 x 45 x 20 mm³
  • センサー
  • マスフローコントローラー

SFC6000D-20slm

優れた価格性能比、流通、20 slm

フルスケール流量
20 slm
精度
0.2% FS or 2% SP
キャリブレーション
Air, N₂, O₂, N₂O, Ar and CO₂ flow
最高使用圧力
10 bar
流体コネクタポート
Push-in 6mm, downmount
インターフェイス
I²C, RS485
供給電圧
22.8 - 25.2 V
サイズ (LxWxH)
102 x 45 x 20 mm³
  • センサー
  • マスフローコントローラー

SFC5500-50sccm

汎用マスフローコント ローラー、オンライン 流通、50sccm

フルスケール流量
0.05 slm
精度
0.2%FS or 2% SP
キャリブレーション
Air, O2, N2, Ar, CO2, He, H2, CH4 and N2O flow
最高使用圧力
10 bar
流体コネクタポート
Legris
インターフェイス
Device net, RS485
供給電圧
14 - 26.4 V
サイズ (LxWxH)
105 x 38.5 x 90.5 mm³
  • センサー
  • マスフローコントローラー

SFC5500-2slm

汎用マスフローコント ローラー、オンライン 流通、2 slm

フルスケール流量
2 slm
精度
0.08% FS or 0.8% SP
キャリブレーション
Air, O2, N2, Ar, CO2, He, H2, CH4 and N2O flow
最高使用圧力
8 bar
流体コネクタポート
Legris
インターフェイス
Device net, RS485
供給電圧
14 - 26.4 V
サイズ (LxWxH)
105 x 38.5 x 90.5 mm³
  • センサー
  • マスフローコントローラー

SFC5500-200slm

汎用マスフローコント ローラー、オンライン 流通、200 slm

フルスケール流量
200 slm
精度
0.08% FS or 0.8% SP
キャリブレーション
Air, O2 and N2 flow
最高使用圧力
5 bar
流体コネクタポート
Legris
インターフェイス
Device net, RS485
供給電圧
14 - 26.4 V
サイズ (LxWxH)
135 x 24.6 x 91 mm³
  • センサー
  • マスフローコントローラー

SFC5500-10slm

汎用マスフローコント ローラー、オンライン 流通、10 slm

フルスケール流量
10 slm
精度
0.08% FS or 0.8% SP
キャリブレーション
Air, O2, N2, Ar, CO2, He, H2, CH4 and N2O flow
最高使用圧力
5 bar
流体コネクタポート
Legris
インターフェイス
Device net, RS485
供給電圧
14 - 26.4 V
サイズ (LxWxH)
115 x 24.6 x 91 mm³
  • センサー
  • マスフローコントローラー

SFC5500-0.5slm

汎用マスフローコント ローラー、オンライン 流通、0.5 slm

フルスケール流量
0.5 slm
精度
0.08% FS or 0.8% SP
キャリブレーション
Air, O2, N2, Ar, CO2, He, H2, CH4 and N2O flow
最高使用圧力
5 bar
流体コネクタポート
Legris
インターフェイス
Device net, RS485
供給電圧
14 - 26.4 V
サイズ (LxWxH)
115 x 24.6 x 91 mm³
  • センサー
  • マスフローコントローラー

SFC5460

Versatile MFC for OEM projects with high unit quantities

フルスケール流量
0.05, 0.1, 0.2, 0.5, 1, 2, 5 and 10 slm slm
精度
0.08% FS or 0.8% SP
キャリブレーション
Air, H2, O2, He, Ar, CO2 and N2 and O2 flow flow
最高使用圧力
5 bar
流体コネクタポート
Swagelok, VCR, VCO, W-Seal, Downmount
インターフェイス
RS485
供給電圧
14 - 26 V
サイズ (LxWxH)
101.1 x 24.4 x 91 mm³
  • センサー
  • マスフローコントローラー

SFC5400

多用途マスフローコントローラー

フルスケール流量
1, 2, 5, 10, 20, 50 and 100 slm
精度
0.08% FS or 0.8% SP
キャリブレーション
Air, O2, N2, Ar, CO2, He, H2, CH4, N2O, SF6 and C4F8 flow
最高使用圧力
5 bar
流体コネクタポート
Swagelock, VCO, VCR, Downmount
インターフェイス
Analog voltage, Analog current, Device net, IO link, RS485
供給電圧
14 - 26.4 V
サイズ (LxWxH)
101.1 x 24.4 x 91 mm³
  • センサー
  • マスフローコントローラー

SFC5330

コスト重視のOEMプロジェクトで大量生産するための小型MFC

フルスケール流量
1, 2 and 5 slm
精度
0.2%FS or 2% SP
キャリブレーション
Air, O2, N2, Ar, CO2, He, H2, CH4, N2O, SF6 and C4F8 flow
最高使用圧力
10 bar
流体コネクタポート
Downmount
インターフェイス
RS485
供給電圧
14 - 26.4 V
サイズ (LxWxH)
34 x 25 x 62.2 mm³
  • センサー
  • マスフローコントローラー
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