SFC5330
コスト重視のOEMプロジェクトで大量生産するための小型MFC
マスフローコントローラー「SFC5300」は、優れた精度、長期的な安定性、再現性でマスフローを計測・制御します。コンパクトサイズでありながら、ダイナミックな測定範囲を実現しています。本体筐体は金属製です。マスフローコントローラ「SFC5330」は、ダウンマウント接続やデジタルインターフェースを備えています。マスフローコントローラー「SFC5300」の小型版で、コスト重視の大量生産OEMプロジェクトに適しています。 卓越した性能を実現するマスフローメーター「SFC5330」。他のSensirion製センサーと同様、高精度のセンサー技術とプロセス用電子機器をCMOSシリコンチップ上に搭載した革新的なCMOSens®技術に支えられています。高品質な素材と組み合わせることで、耐久性が高く安定した、高速・高精度なSFC5330マスフローコントローラーを実現しています。マスフローコントローラ「SFC5330」は、バルブレスタイプもあります。2種類のセンサー製品は同じ性能特性を備え、用途も類似しているため、組み合わせてお使いいただけます。 数量が多いプロジェクトの場合は、要件に合ったマスフローコントローラーを調整・開発します。
仕様
| マスフロー | |||
|---|---|---|---|
| フルスケール流量
1, 2 and 5
| 1, 2 and 5 | slm | |
| フルスケール流量
50, 100, 200 and 500
| 50, 100, 200 and 500 | sccm | |
| 精度
0.2%FS or 2% SP
| 0.2%FS or 2% SP | ||
| 最高使用圧力
10
| 10 | bar | |
| キャリブレーション
Air, O2, N2, Ar, CO2, He, H2, CH4, N2O, SF6 and C4F8
| Air, O2, N2, Ar, CO2, He, H2, CH4, N2O, SF6 and C4F8 | flow | |
| 流体コネクタポート
Downmount
| ダウンマウント |
| Generic | |||
|---|---|---|---|
| 供給電圧
14 - 26.4
| 14 - 26.4 | V | |
| 平均供給電流
50000
| 50000 | uA | |
| 最大供給電流
320000
| 320000 | uA | |
| インターフェイス
RS485
| RS485 | ||
| サイズ (LxWxH)
34 x 25 x 62.2
| 34 x 25 x 62.2 | mm³ |
ダウンロード
センサーの評価
このセンサーを評価するために、以下の製品を購入します。
| 名称 | 説明 | シリーズ | カテゴリ |
|---|---|---|---|
 EK-F5x | SFCおよびSFM評価キットSFC5x00、SFM5x00, SFC6xxx, SFM6xxx | EK-F5x | マスフローコントローラー |
各ビューワーソフトをダウンロードして、測定を開始します
ダウンロードセンターへ評価キットでセンサーのテストが簡単に始められます
開始までの流れ最新情報 マスフローコントローラー
アクティブ
SFC6000-OEM
優れた価格性能比、カスタマイズ可能
- センサー
- マスフローコントローラー
アクティブ
SFC6000D-50slm
優れた価格性能比、流通、50 slm
- センサー
- マスフローコントローラー
アクティブ
SFC6000D-20slm
優れた価格性能比、流通、20 slm
- センサー
- マスフローコントローラー
アクティブ
SFC6000D-5slm
優れた価格性能比、流通、5 slm
- センサー
- マスフローコントローラー
アクティブ
SFC5460
Versatile MFC for OEM projects with high unit quantities
- センサー
- マスフローコントローラー
アクティブ
SFC5500-2slm
汎用マスフローコント ローラー、オンライン 流通、2 slm
- センサー
- マスフローコントローラー
アクティブ
SFC5500-50sccm
汎用マスフローコント ローラー、オンライン 流通、50sccm
- センサー
- マスフローコントローラー
アプリケーション用のスマートセンサー
センシリオンのセンサーソリューションは、幅広いアプリケーションと市場で使用されています。当社の信頼性の高い環境センサーとフローセンサーは、エネルギー効率を改善し、健康を増進し、安全性と快適性を確保します。