製品カタログ
フィルター
SFC6000-OEM
優れた価格性能比、カスタマイズ可能
精度
0.2% FS or 2% SP
フルスケール流量
2, 5, 20 and 50
slm
フルスケール流量
500
sccm
サイズ (LxWxH)
102 x 45 x 20
mm³
- センサー
- マスフローコントローラー
SFC6000D-5slm
優れた価格性能比、流通、5 slm
精度
0.2% FS or 2% SP
フルスケール流量
5
slm
フルスケール流量
5000
sccm
サイズ (LxWxH)
102 x 45 x 20
mm³
- センサー
- マスフローコントローラー
SFC6000D-50slm
優れた価格性能比、流通、50 slm
精度
0.2% FS or 2% SP
フルスケール流量
50
slm
フルスケール流量
50000
sccm
サイズ (LxWxH)
102 x 45 x 20
mm³
- センサー
- マスフローコントローラー
SFC6000D-20slm
優れた価格性能比、流通、20 slm
精度
0.2% FS or 2% SP
フルスケール流量
20
slm
フルスケール流量
20000
sccm
サイズ (LxWxH)
102 x 45 x 20
mm³
- センサー
- マスフローコントローラー
SFC5500-50sccm
汎用マスフローコント ローラー、オンライン 流通、50sccm
精度
0.2%FS or 2% SP
フルスケール流量
0.05
slm
フルスケール流量
50
sccm
サイズ (LxWxH)
105 x 38.5 x 90.5
mm³
- センサー
- マスフローコントローラー
SFC5500-2slm
汎用マスフローコント ローラー、オンライン 流通、2 slm
精度
0.08% FS or 0.8% SP
フルスケール流量
2
slm
フルスケール流量
2000
sccm
サイズ (LxWxH)
105 x 38.5 x 90.5
mm³
- センサー
- マスフローコントローラー
SFC5500-200slm
汎用マスフローコント ローラー、オンライン 流通、200 slm
精度
0.08% FS or 0.8% SP
フルスケール流量
200
slm
フルスケール流量
200000
sccm
サイズ (LxWxH)
135 x 24.6 x 91
mm³
- センサー
- マスフローコントローラー
SFC5500-10slm
汎用マスフローコント ローラー、オンライン 流通、10 slm
精度
0.08% FS or 0.8% SP
フルスケール流量
10
slm
フルスケール流量
10000
sccm
サイズ (LxWxH)
115 x 24.6 x 91
mm³
- センサー
- マスフローコントローラー
SFC5500-0.5slm
汎用マスフローコント ローラー、オンライン 流通、0.5 slm
精度
0.08% FS or 0.8% SP
フルスケール流量
0.5
slm
フルスケール流量
500
sccm
サイズ (LxWxH)
115 x 24.6 x 91
mm³
- センサー
- マスフローコントローラー
SFC5460
Versatile MFC for OEM projects with high unit quantities
精度
0.08% FS or 0.8% SP
フルスケール流量
0.05, 0.1, 0.2, 0.5, 1, 2, 5 and 10 slm
slm
フルスケール流量
20 and 50 and 100 sccm
sccm
サイズ (LxWxH)
101.1 x 24.4 x 91
mm³
- センサー
- マスフローコントローラー
SFC5400
多用途マスフローコントローラー
精度
0.08% FS or 0.8% SP
フルスケール流量
1, 2, 5, 10, 20, 50 and 100
slm
フルスケール流量
50, 100, 200 and 500
sccm
サイズ (LxWxH)
101.1 x 24.4 x 91
mm³
- センサー
- マスフローコントローラー
SFC5330
コスト重視のOEMプロジェクトで大量生産するための小型MFC
精度
0.2%FS or 2% SP
フルスケール流量
1, 2 and 5
slm
フルスケール流量
50, 100, 200 and 500
sccm
サイズ (LxWxH)
34 x 25 x 62.2
mm³
- センサー
- マスフローコントローラー
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