SFM5500-50sccm
用于多种气体的高压质量流量计, 50sccm
SFM5500质量流量计系列是Sensirion耕耘气体流量测量20年来打造出的佼佼者。该系列基于热式测量原理，结合Sensirion久经验证的CMOSens® MEMS技术，打造出一款性能出色、稳定可靠的全新质量流量计，与市场上其他大多数设备不同，它不会偏移并且在使用期间不需要重新校准。 由于CMOSens® MEMS流量传感器测量范围宽，SFM5500系列可以在单个设备中覆盖多种流量范围。SFM5500系列采用金属包装，也耐高压。与市场上大多数设备不同的是，SFM5500适用于超低速、低速（低至50sccm全量程流量）以及高速气体流量。加上多气体校准和可更换配件，SFM5500系列目前是市场上第一款标准现成的质量流量计，适用于医疗、分析和工业等领域。由于适用于多种用途，SFM5500系列也是同类产品中第一款可通过线上渠道购买的质量流量计。 SFM5500系列作为Sensirion同类SFM5xxx 质量流量计系列的补充，拥有与SFM5400同样出色的功能，因此适用于对精度、速度和动态范围要求极高的多种场景。与高度可配置的SFM5400系列不同，SFM5500系列的质量流量计提供多种标准预配置版本。对于其他气体、流量范围、配件和接口，请参考SFM5400或Sensirion为大型OEM 项目设计的高性价比解决方案——SFM5300。 如果您正在物色质量流量控制器，SFC5500是具备阀门的SFM5500的姐妹型号，性能同样出色。
规范
| 质量流量 | |||
|---|---|---|---|
| 满量程流速
0.05
| 0.05 | slm | |
| 满量程流速
50
| 50 | sccm | |
| 准确度
0.2%FS or 2% SP
| 0.2%FS or 2% SP | ||
| 最大工作压力
10
| 10 | bar | |
| 校准
Air, O2, N2, Ar, CO2, He, H2, CH4 and N2O
| Air, O2, N2, Ar, CO2, He, H2, CH4 and N2O | flow | |
| 流体连接器端口
Legris
| Legris |
| Generic | |||
|---|---|---|---|
| 电源电压
14 - 26.4
| 14 - 26.4 | V | |
| 平均供应电流
35000
| 35000 | uA | |
| 最大供应电流
50000
| 50000 | uA | |
| 接口
Device net, RS485
| 设备网,RS485 | ||
| 尺寸 (长x宽x高)
105 x 38.5 x 90.5
| 105 x 38.5 x 90.5 | mm³ |
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评估传感器
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| 名称 | 产品介绍 | 系列 | 类别 |
|---|---|---|---|
 EK-F5x | SFC5x00、SFM5x00, SFC6xxx, SFM6xxx评估套件 | EK-F5x | 质量流量控制器 |
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