SFM3100
アナログフローおよびガス温度センサー、キャップ付、240 slm
アナログマスフローメーター「SFM3100」は、高精度かつ高速です。また、マスフローメーター「SFM3100」は小型である為、簡単に実装することが可能です。マスフローメーターのガス流路内に温度センサーが取り付けられており、高精度な温度補償を実現し、その為、追加の温度センサーは不要です。 流量は-24slmから+240slmの範囲で測定できます。負の流量も検知可能であることから、エラーや逆流を信頼性高く検知することができます。また、複数のガス種について精度高く校正が可能で、流量と信号特性について、お客様の要求に合わせたカスタマイズも可能です。 当社の全てのセンサーと同じように、このアナログマスフローメーターは、センサー素子と信号処理回路が1つのCMOSチップ上に統合されている特許取得済みCMOSens®技術を活用しています。その結果、性能、コストともに要求が厳しいアプリケーションに対して、高い安定性と正確なシステムを提供します。マスフローメーター「SFM3100」は、特に吸気アプリケーションや高精度な酸素及び空気の混合に適しています。
仕様
| ガス流量 | |||
|---|---|---|---|
| フルスケール流量
-24 - 240
| -24 - 240 | slm | |
| 標準精度
±2.5% m.v.
| ±2.5% m.v. | ||
| キャリブレーション
Air and O₂
| Air and O₂ | ||
| センサー出力
Flow and T
| Flow and T | ||
| 最高使用圧力
1.07
| 1.07 | bar | |
| 流体コネクタポート
O-ring
| O-ring |
| Generic | |||
|---|---|---|---|
| 供給電圧
4.75 - 5.25
| 4.75 - 5.25 | V | |
| 最大供給電流
150000
| 150000 | uA | |
| インターフェイス
Analog voltage
| アナログ電圧出力 | ||
| サイズ (LxWxH)
57.5 x 27.5 x 29.4
| 57.5 x 27.5 x 29.4 | mm³ |
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