SFC4000
廃止SFC5400マスフローコントローラーの先代機
Sensirionのマスフローコントローラー「SFC4000」は、応答時間が速く、広い範囲のガスフローを高速かつ正確に制御することができます。 CMOSens®技術を搭載し、デジタル校正され、温度補償されたセンサー信号は、アナログ制御回路でバルブを制御する信号に直接変換されます。この原理により、マスフローコントローラーは電磁干渉の影響を受けません。SFC4000は、アナログインターフェース（0～5V）を備え、安定した高精度のガスフロー制御を実現します。DC14～24Vのユニポーラ電源が必要です。
後継製品
| 名称 | 説明 | シリーズ | カテゴリ |
|---|---|---|---|
 SFC5400 | 多用途マスフローコントローラー | SFC5400 | マスフローコントローラー |
仕様
| マスフロー | |||
|---|---|---|---|
| フルスケール流量
1, 2, 5 and 10
| 1, 2, 5 and 10 | slm | |
| 精度
0.2%FS or 2% SP
| 0.2%FS or 2% SP | ||
| 最高使用圧力
10
| 10 | bar | |
| キャリブレーション
Air, O2, N2, Ar and CO2
| Air, O2, N2, Ar and CO2 | flow | |
| 流体コネクタポート
Swagelock, VCO, VCR, Downmount
| Swagelock, VCO, VCR, Downmount |
| Generic | |||
|---|---|---|---|
| 供給電圧
14 - 26.4
| 14 - 26.4 | V | |
| 平均供給電流
50000
| 50000 | uA | |
| 最大供給電流
320000
| 320000 | uA | |
| インターフェイス
Analog voltage
| アナログ電圧出力 | ||
| サイズ (LxWxH)
105 x 38.5 x 90.5
| 105 x 38.5 x 90.5 | mm³ |
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