规范
| 质量流量 | |||
|---|---|---|---|
| 准确度 ±0.2sccm ± 2% SP | ±0.2sccm ± 2% SP | ||
| 最大工作压力 5 | 5 | bar | |
| 校准 Air, He, H2 and Ar | Air, He, H2 and Ar | flow | |
| 流体连接器端口 Downmount | Downmount |
| 通用的 | |||
|---|---|---|---|
| 电源电压 14.25 - 15.25 | 14.25 - 15.25 | V | |
| 最大供应电流 330000 | 330000 | uA | |
| 接口 RS485 | RS485 | ||
| 尺寸 (长x宽x高) 70 x 25 x 73 | 70 x 25 x 73 | mm |
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