SFC5500 汎用マスフローメーター、オンライン購入可 高精度と高再現性、複数のガス校正 フルスケール50sccm-200slm、継ぎ手交換可能 幅広い制御範囲、超高速セトリングタイム、デジタル出力 5 製品
SFC5400 高性能多用途マスフローコントローラー 最低流量でも高精度かつ高感度 幅広いダイナミックレンジ(1:1000)と超高速なセット時間(50mSec) 複数種類のガスオプション、さまざまなインターフェースとガス接続 2 製品
SFC5300 多用途OEM向けマスフローコントローラー 最低流量でも高精度かつ高感度 幅広いダイナミックレンジ(1:1000)と超高速なセット時間(50mSec) コンパクトなサイズと魅力的なシステム価格 2 製品