SFM5460

High-precision, configurable, fast, gas flow sensor for OEM

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仕様

マスフロー
フルスケール流量
0.05, 0.1, 0.2, 0.5, 1, 2, 5 and 10 slm
0.05, 0.1, 0.2, 0.5, 1, 2, 5 and 10 slm slm
フルスケール流量
20 and 50 and 100 sccm
20 and 50 and 100 sccm sccm
精度
0.08% FS or 0.8% SP
0.08% FS or 0.8% SP
最高使用圧力
5
5 bar
キャリブレーション
Air, H2, O2, He, Ar, CO2 and N2 and O2 flow
Air, H2, O2, He, Ar, CO2 and N2 and O2 flow flow
Generic
供給電圧
14 - 26
14 - 26 V
平均供給電流
50000
50000 uA
最大供給電流
320000
320000 uA
インターフェイス
RS485
RS485
サイズ (LxWxH)
101.1 x 24.4 x 91
101.1 x 24.4 x 91 mm³

ダウンロード

名称 種類 日付 ファイル名 サイズ
Datasheet SFC5460/SFM5460

05/2023

ファイル

771.3 KB

データシート 05/2023 PDF 771.3 KB
Mounting Plate SFX54xx

07/2022

ファイル

168.2 KB

Drawings/CAD 07/2022 STEP 168.2 KB
STEP file downmount SFC5460/SFM5460

08/2022

ファイル

25.2 MB

Drawings/CAD 08/2022 STEP 25.2 MB
STEP file SFM5400

07/2022

ファイル

3.7 MB

Drawings/CAD 07/2022 ZIP 3.7 MB
Engineering guide SFC5xxx/SFM5xxx

07/2023

ファイル

869.9 KB

アプリケーションノート 07/2023 PDF 869.9 KB
Reference and flow conversions

09/2021

ファイル

293.7 KB

アプリケーションノート 09/2021 PDF 293.7 KB
Reference and flow conversions calculator

10/2021

ファイル

30.3 KB

アプリケーションノート 10/2021 XLSX 30.3 KB
SHDLC Interface Reference SFM5xxx/SFC5xxx

02/2022

ファイル

665.2 KB

アプリケーションノート 02/2022 PDF 665.2 KB
Quick start guide SFC5xxx/SFM5xxx

09/2021

ファイル

369.3 KB

ユーザーガイド 09/2021 PDF 369.3 KB
Recalibration tool SFC5xxx/SFM5xxx

07/2022

ファイル

1002.3 KB

ユーザーガイド 07/2022 PDF 1002.3 KB
SFC5xxx DeviceNet communication interface reference

03/2023

ファイル

796.4 KB

ユーザーガイド 03/2023 PDF 796.4 KB
Software manual SFC5xxx/SFM5xxx

03/2022

ファイル

1.3 MB

ユーザーガイド 03/2022 PDF 1.3 MB
Python driver SFC5xxx/SFM5xxx

03/2022

Link

-

ソフトウェア 03/2022 リンク -
Recalibration tool software SFC5xxx/SFM5xxx

06/2022

ファイル

-

ソフトウェア 06/2022 ファイル名 -
Software library LabVIEW, C, C# SFC5xxx/SFM5xxx

03/2022

ファイル

1.7 MB

ソフトウェア 03/2022 ZIP 1.7 MB
Software SFC5xxx/SFM5xxx

04/2022

ファイル

1.1 MB

ソフトウェア 04/2022 ZIP 1.1 MB
REACH and RoHS declaration SFM/SGM

07/2024

ファイル

98.0 KB

証明書 07/2024 PDF 98.0 KB
Gas flow sensors brochure

01/2024

ファイル

622.9 KB

フライヤー 01/2024 PDF 622.9 KB
Mass flow controllers brochure chinese

06/2024

ファイル

633.9 KB

フライヤー 06/2024 PDF 633.9 KB

センサーの評価

このセンサーを評価するために、以下の製品を購入します。

名称 説明 シリーズ カテゴリ
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SFCおよびSFM評価キットSFC5x00、SFM5x00, SFC6xxx, SFM6xxx EK-F5x マスフローコントローラー

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