SFM5300

高精度、構成可能、高速、OEM用デジタルフローセンサー

仕様

質量流量
フルスケール流量
0.05, 0.1, 0.2, 0.5, 1, 2, 5, 10, 20, 50および100
slm
標準精度
0.2%FS or 2% SP
最大作業圧力
10
bar
調整
Air, O2, N2, Ar, CO2, He, H2, CH4, N2O, SF6およびC4F8
flow
流体コネクタポート
Downmount
ジェネリック
供給電圧
14 - 26.4
V
平均供給電流
50000
uA
最大供給電流
320000
uA
インターフェース
RS485
パッケージサイズ(LxWxH)
48 x 25 x 79.5
mm³

テクニカルダウンロード

名前
タイプ
日付
ファイル
サイズ
Datasheet SFC5300/SFM5300 & SFC5330/SFM5330
データシート
08/2021
PDF
1.0 MB
Datasheet SFM5300
データシート
10/2016
PDF
568.9 KB
Mounting plate SFX53xx
CAD
07/2022
STEP
196.0 KB
STEP file SFM5300
CAD
07/2022
ZIP
5.4 MB
Software SFC5xxx/SFM5xxx
ビューアソフト
04/2022
ZIP
1.1 MB
Engineering guide SFC5xxx/SFM5xxx
アプリケーションノート
08/2022
PDF
994.5 KB
Reference and flow conversions
アプリケーションノート
09/2021
PDF
293.7 KB
Reference and flow conversions calculator
アプリケーションノート
10/2021
XLSX
30.3 KB
SHDLC Interface Reference SFM5xxx/SFC5xxx
アプリケーションノート
02/2022
PDF
665.2 KB
Quick start guide SFC5xxx/SFM5xxx
ユーザーガイド
09/2021
PDF
669.9 KB
Recalibration tool SFC5xxx/SFM5xxx
ユーザーガイド
07/2022
PDF
1002.3 KB
Software manual SFC5xxx/SFM5xxx
ユーザーガイド
03/2022
PDF
1.3 MB
Recalibration tool software SFC5xxx/SFM5xxx
ソフトウェア
06/2022
MSI
1.7 MB
Software library LabVIEW, C, C# SFC5xxx/SFM5xxx
ソフトウェア
03/2022
ZIP
1.7 MB
Engineering guide SFM
ユーザーガイド
01/2021
PDF
592.1 KB
REACH and RoHS declaration SFM/SGM
証明書
07/2022
PDF
99.6 KB
Gas Flow Sensors brochure
フライヤー
08/2021
PDF
1013.9 KB

このセンサーを評価するには、次の製品を購入してください

マスフローメーター「SFM5300」は高精度(誤差<2%)、長期安定性と高い繰返し精度で流量の測定を行い、広いダイナミック測定レンジとコンパクトサイズを可能にしました。
マスフローメーター「SFM5300」はダウンマウント接続とデジタルインターフェース(I2C)で、使用される金属はマスフローメーター「SFM5400」とほぼ同じで、価格要求の厳しい大量生産(OEMプロジェクト)向けです。

高性能なマスフローメーター「SFM5300」はセンサー素子、信号処理回路が1つのCMOSチップ上に統合されている特許取得済みCMOSens®技術を活用しています。高品質材料との組み合わせで、その結果安定した耐久性、高速で高精度なマスフローメーターとなっています。

マスフローメーター「SFM5300」はマスフローコントローラー「SFC5300」のバルブのないバージョンです。マスフローコントローラー「SFC5300」はマスフローメーターと同じ性能特性となっており、類似したアプリケーションに使用され、これら2つの製品は理想的な組み合わせです。

※ マスフローコントローラー「SFC5300」に関してのより詳しい情報はこちらご確認ください。

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