アナログマスフローメーター「SFM3100」は、高精度かつ高速です。また、マスフローメーター「SFM3100」は小型である為、簡単に実装することが可能です。マスフローメーターのガス流路内に温度センサーが取り付けられており、高精度な温度補償を実現し、その為、追加の温度センサーは不要です。

流量は-24slmから+240slmの範囲で測定できます。負の流量も検知可能であることから、エラーや逆流を信頼性高く検知することができます。また、複数のガス種について精度高く校正が可能で、流量と信号特性について、お客様の要求に合わせたカスタマイズも可能です。

当社の全てのセンサーと同じように、このアナログマスフローメーターは、センサー素子と信号処理回路が1つのCMOSチップ上に統合されている特許取得済みCMOSens®技術を活用しています。その結果、性能、コストともに要求が厳しいアプリケーションに対して、高い安定性と正確なシステムを提供します。マスフローメーター「SFM3100」は、特に吸気アプリケーションや高精度な酸素及び空気の混合に適しています。