マスフローメーター「SFM3020」は「SFM3019」のアナログ版で、特に大流量測定に適しています。低圧力損失となる流路設計となっていますので、医療用呼吸器に最適です。

-10slm～160slmの空気と酸素の流量を、優れた精度かつ非常に高速で測定します。その測定信号は内部で線形化され、温度を安定させ、アナログ電圧で出力されます。

SFM3xxxプラットフォームに属する「SFM3020」は、費用対効果を重視し、アナログインターフェースが好まれる様々な大流量測定に適したセンサーソリューションです。「SFM3020」センサーの卓越した性能は、特許を取得したセンシリオンのCMOSens®技術に基づいており、小さなマイクロチップ上にセンサー素子、信号処理、およびデジタル校正の全てが集積されています。ガスは他の流量測定技術と比較して測定ダイナミックレンジが広く、長期安定性が高いサーマルセンサー素子で測定されます。この実績のあるCMOSens®技術によって、フローメーターは高品質の大量生産に最適で、要求とコストに厳しいOEM用途に理想的な製品です。