マスフローメーター「SFM3003」は、当社の次世代のフローメーターです。技術的には、新型コロナウィルスの緊急対応のため市場投入されたフローメーター「SFM3019」をベースとしており、医療用人工呼吸器向け吸気流量測定用の大流量フローメーターです。「SFM3019」と比較して、「SFM3003」はより幅広い流量範囲と強化された仕様となっています。

-30～300slmの流量の空気、酸素、及びこれらを混合した気体の流量を優れた精度、信頼性、長期安定性で測定します。再校正は不要です。「SFM3003」は、組み込みが簡単なデジタルI2Cインターフェースで出力します。その信号は内部で線形化され、温度を補償されています。さらに、「SFM3003」フローメーターは、圧力損失が非常に低く、応答時間も超高速で、S/N比が非常に優れています。

SFM3xxxプラットフォームの1つである「SFM3003」は、コスト効率を優先する数多くの様々な大流量アプリケーションに対応した多用途なセンサーソリューションです。「SFM3003」センサーの卓越した性能は、当社が特許取得済みのCMOSens®技術に基づいており、それらは小さなマイクロチップ上にセンサー素子、信号処理、およびデジタル校正回路のすべてが統合されています。ガスは、他の流量測定技術と比較してダイナミックレンジが広く、長期安定性の高いサーマルセンサー素子で測定されます。実績のあるCMOSens®技術によって、このフローメーターは高品質の大量生産に最適で、要求とコストに厳しいOEM用途に理想的な製品です。