マスフロー | |||
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フルスケール流量
5
| 5 | slm | |
フルスケール流量
5000
| 5000 | sccm | |
精度
0.2% FS or 2% SP
| 0.2% FS or 2% SP | ||
最高使用圧力
10
| 10 | bar | |
キャリブレーション
Air, N₂, O₂, N₂O, Ar and CO₂
| Air, N₂, O₂, N₂O, Ar and CO₂ | flow | |
流体コネクタポート
Push-in 6mm, downmount
| Push-in 6mm, downmount |
Generic | |||
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供給電圧
22.9 - 25.9
| 22.9 - 25.9 | V | |
最大供給電流
210
| 210 | mA | |
インターフェイス
I²C, RS485
| I²C,RS485 | ||
サイズ (LxWxH)
102 x 45 x 20
| 102 x 45 x 20 | mm³ |
このセンサーを評価するために、以下の製品を購入します。
名称 | 説明 | シリーズ | カテゴリ |
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EK-F5x | SFCおよびSFM評価キットSFC5x00、SFM5x00, SFC6xxx, SFM6xxx | EK-F5x | マスフローコントローラー |
センシリオンのセンサーソリューションは、幅広いアプリケーションと市場で使用されています。当社の信頼性の高い環境センサーとフローセンサーは、エネルギー効率を改善し、健康を増進し、安全性と快適性を確保します。