仕様

マスフロー
フルスケール流量
50
50 slm
フルスケール流量
50000
50000 sccm
精度
0.2% FS or 2% SP
0.2% FS or 2% SP
最高使用圧力
10
10 bar
キャリブレーション
Air, N₂ and O₂
Air, N₂ and O₂ flow
流体コネクタポート
Push-in 6mm, downmount
Push-in 6mm, downmount
Generic
供給電圧
22.8 - 25.2
22.8 - 25.2 V
最大供給電流
210
210 mA
インターフェイス
I²C, RS485
I²C,RS485
サイズ (LxWxH)
102 x 45 x 20
102 x 45 x 20 mm³

技術ダウンロード

名称 種類 日付 ファイル名 サイズ
Datasheet SFC6000D/SFM6000D

05/2023

ファイル

1.4 MB

データシート 05/2023 PDF 1.4 MB
Documentation I2C Interface SFC6000D and SFM6000D

07/2023

ファイル

820.0 KB

アプリケーションノート 07/2023 PDF 820.0 KB
Exchange fittings SFC/SFM6000

05/2023

ファイル

449.8 KB

アプリケーションノート 05/2023 PDF 449.8 KB
Selection guide mass flow controllers

11/2023

ファイル

347.8 KB

アプリケーションノート 11/2023 PDF 347.8 KB
SHDLC Interface Reference SFC6xxx and SFM6xxx RS485

05/2023

ファイル

842.0 KB

アプリケーションノート 05/2023 PDF 842.0 KB
Quick start guide SFC/SFM6000 evaluation kit

01/2023

ファイル

561.9 KB

ユーザーガイド 01/2023 PDF 561.9 KB
SFX6000 Engineering Guide

07/2023

ファイル

2.0 MB

ユーザーガイド 07/2023 PDF 2.0 MB
STEP file SFC/SFM6000

03/2023

ファイル

10.6 MB

CAD 03/2023 ZIP 10.6 MB
REACH and RoHS declaration SFC

02/2024

ファイル

84.6 KB

証明書 02/2024 PDF 84.6 KB
Mass flow controllers brochure

11/2023

ファイル

868.7 KB

フライヤー 11/2023 PDF 868.7 KB

センサーの評価

このセンサーを評価するために、以下の製品を購入します。

名称 説明 シリーズ カテゴリ
EK-F5x
SFCおよびSFM評価キットSFC5x00、SFM5x00, SFC6xxx, SFM6xxx EK-F5x マスフローコントローラー

各ビューワーソフトをダウンロードして、測定を開始します

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評価キットでセンサーのテストが簡単に始められます

開始までの流れ

アプリケーション用のスマートセンサー

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