サイトと言語
汎用マスフローコント ローラー、オンライン 流通、50sccm
仕様
質量流量
フルスケール流量
0.05
slm
フルスケール流量
50
sccm
標準精度
0.2% FS, 0.2% m.v.
最大作業圧力
10
bar
調整
Air, O2, N2, Ar, CO2, He, H2, CH4およびN2O
flow
流体コネクタポート
Legris
ジェネリック
供給電圧
14 - 26.4
V
平均供給電流
75000
μA
最大供給電流
120000
μA
インターフェース
IOリンク, ModBus, RS485
パッケージサイズ(LxWxH)
105 x 38.5 x 90.5
mm³
テクニカルダウンロード
名前
タイプ
日付
ファイル
サイズ