仕様

マスフロー
フルスケール流量
2
2 slm
フルスケール流量
2000
2000 sccm
精度
0.08% FS or 0.8% SP
0.08% FS or 0.8% SP
最高使用圧力
8
8 bar
キャリブレーション
Air, O2, N2, Ar, CO2, He, H2, CH4 and N2O
Air, O2, N2, Ar, CO2, He, H2, CH4 and N2O flow
流体コネクタポート
Legris
Legris
Generic
供給電圧
14 - 26.4
14 - 26.4 V
平均供給電流
200000
200000 uA
最大供給電流
320000
320000 uA
インターフェイス
Device net, RS485
デバイスネット,RS485
サイズ (LxWxH)
105 x 38.5 x 90.5
105 x 38.5 x 90.5 mm³

技術ダウンロード

名称 種類 日付 ファイル名 サイズ
Datasheet SFC5500/SFM5500

02/2024

ファイル

975.3 KB

データシート 02/2024 PDF 975.3 KB
Compatible fittings SFC5500/SFM5500

10/2022

ファイル

193.4 KB

アプリケーションノート 10/2022 PDF 193.4 KB
STEP file SFC5500-50sccm/0.5slm/2slm/10slm

04/2022

ファイル

3.4 MB

CAD 04/2022 STEP 3.4 MB
Software SFC5xxx/SFM5xxx

04/2022

ファイル

1.1 MB

ビューアソフト 04/2022 ZIP 1.1 MB
Engineering guide SFC5xxx/SFM5xxx

07/2023

ファイル

869.9 KB

アプリケーションノート 07/2023 PDF 869.9 KB
Mean time between failures analysis

08/2022

ファイル

202.9 KB

アプリケーションノート 08/2022 PDF 202.9 KB
Reference and flow conversions

09/2021

ファイル

293.7 KB

アプリケーションノート 09/2021 PDF 293.7 KB
Selection guide mass flow controllers

11/2023

ファイル

347.8 KB

アプリケーションノート 11/2023 PDF 347.8 KB
SHDLC Interface Reference SFM5xxx/SFC5xxx

02/2022

ファイル

665.2 KB

アプリケーションノート 02/2022 PDF 665.2 KB
Quick start guide SFC5xxx/SFM5xxx

09/2021

ファイル

369.3 KB

ユーザーガイド 09/2021 PDF 369.3 KB
Recalibration tool SFC5xxx/SFM5xxx

07/2022

ファイル

1002.3 KB

ユーザーガイド 07/2022 PDF 1002.3 KB
SFC5xxx DeviceNet communication interface reference

03/2023

ファイル

796.4 KB

ユーザーガイド 03/2023 PDF 796.4 KB
Software manual SFC5xxx/SFM5xxx

03/2022

ファイル

1.3 MB

ユーザーガイド 03/2022 PDF 1.3 MB
Python driver SFC5xxx/SFM5xxx

03/2022

Link

-

ソフトウェア 03/2022 リンク -
Recalibration tool software SFC5xxx/SFM5xxx

06/2022

ファイル

-

ソフトウェア 06/2022 ファイル名 -
Software library LabVIEW, C, C# SFC5xxx/SFM5xxx

03/2022

ファイル

1.7 MB

ソフトウェア 03/2022 ZIP 1.7 MB
REACH and RoHS declaration SFC

02/2024

ファイル

84.6 KB

証明書 02/2024 PDF 84.6 KB
Mass flow controllers brochure

11/2023

ファイル

868.7 KB

フライヤー 11/2023 PDF 868.7 KB

センサーの評価

このセンサーを評価するために、以下の製品を購入します。

名称 説明 シリーズ カテゴリ
EK-F5x
SFCおよびSFM評価キットSFC5x00、SFM5x00, SFC6xxx, SFM6xxx EK-F5x マスフローコントローラー

各ビューワーソフトをダウンロードして、測定を開始します

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評価キットでセンサーのテストが簡単に始められます

開始までの流れ

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