SFC5500-10slm

汎用マスフローコント ローラー、オンライン 流通、10 slm

仕様

質量流量
フルスケール流量
10
slm
フルスケール流量
10000
sccm
標準精度
0.08% FS or 0.8% SP
最大作業圧力
5
bar
調整
Air, O2, N2, Ar, CO2, He, H2, CH4およびN2O
flow
流体コネクタポート
Legris
ジェネリック
供給電圧
14 - 26.4
V
平均供給電流
200000
uA
最大供給電流
320000
uA
インターフェース
デバイスネット, RS485
パッケージサイズ(LxWxH)
115 x 24.6 x 91
mm³

テクニカルダウンロード

名前
タイプ
日付
ファイル
サイズ
Datasheet SFC5500/SFM5500
データシート
09/2022
PDF
1.0 MB
STEP file SFC5500-50sccm/0.5slm/2slm/10slm
CAD
04/2022
STEP
3.4 MB
Software SFC5xxx/SFM5xxx
ビューアソフト
04/2022
ZIP
1.1 MB
Compatible fittings SFC5500/SFM5500
アプリケーションノート
10/2022
PDF
193.4 KB
Engineering guide SFC5xxx/SFM5xxx
アプリケーションノート
08/2022
PDF
994.5 KB
Mean time between failures analysis
アプリケーションノート
08/2022
PDF
202.9 KB
Reference and flow conversions
アプリケーションノート
09/2021
PDF
293.7 KB
Selection guide mass flow controllers
アプリケーションノート
07/2022
PDF
255.6 KB
SHDLC Interface Reference SFM5xxx/SFC5xxx
アプリケーションノート
02/2022
PDF
665.2 KB
Quick start guide SFC5xxx/SFM5xxx
ユーザーガイド
09/2021
PDF
669.9 KB
Recalibration tool SFC5xxx/SFM5xxx
ユーザーガイド
07/2022
PDF
1002.3 KB
Software manual SFC5xxx/SFM5xxx
ユーザーガイド
03/2022
PDF
1.3 MB
Recalibration tool software SFC5xxx/SFM5xxx
ソフトウェア
06/2022
MSI
1.7 MB
Software library LabVIEW, C, C# SFC5xxx/SFM5xxx
ソフトウェア
03/2022
ZIP
1.7 MB
Mass Flow Controllers brochure
フライヤー
11/2022
PDF
582.5 KB
Product flyer SFC PV applications
フライヤー
02/2013
PDF
543.4 KB
REACH and RoHS declaration SFC
証明書
07/2022
PDF
95.0 KB

このセンサーを評価するには、次の製品を購入してください

マスフローコントローラー「SFC5500」シリーズは、ガスフローの精密制御においてセンシリオンが歩んできた20年間の実績の集大成です。このセンサーはマイクロサーマル測定原理に基づいており、当社の実績のあるCMOSens® MEMS技術を活用しています。これにより、当社はクラス最高のパフォーマンスと優れた信頼性を備えた非常に素晴らしいマスフローコントローラーを作ることができました。本製品は市場に出ている他製品とは異なり、ドリフトすることがなく、市場で再校正する必要がありません。

CMOSens® MEMSフローセンサーが実現出来る幅広い流量制御範囲によって、「SFC5500」シリーズは一台の製品で従来のマスフローコントローラーの複数の流量範囲に対応できます。複数のガス校正と交換可能な継手を組み合わせた「SFC5500」シリーズは、幅広い用途に適した標準品として入手可能な市場初のマスフローコントローラーです。この汎用性のおかげで、「SFC5500」シリーズはカタログ販売を通じて購入できる初のマスフローコントローラーでもあります。

「SFC5500」シリーズは、センシリオン製のクラス最高のマスフローコントローラー「SFC5xxx」ファミリーを補完します。本製品は「SFC5400」と同等の上位パフォーマンスを誇るため、医療、分析、産業の環境での幅広い用途に適しています。但し、高度な設定が可能な「SFC5400」シリーズとは異なり、マスフローコントローラー「SFC5500」シリーズは標準的な設定済みのバリエーションからお選びいただきます。それ以外のガス、流量範囲、継手、インターフェースが必要な場合は、「SFC5400」またはコストパフォーマンスの高いOEM専用の「SFC5300」をご欄ください。

マスフローメーターをお探しの方には、同等のパフォーマンスを発揮し、SFC5500の姉妹品でバルブ無しの「SFM5500」があります。

製品の印象

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