マスフロー | |||
---|---|---|---|
フルスケール流量
0.5
| 0.5 | slm | |
フルスケール流量
500
| 500 | sccm | |
精度
0.08% FS or 0.8% SP
| 0.08% FS or 0.8% SP | ||
最高使用圧力
5
| 5 | bar | |
キャリブレーション
Air, O2, N2, Ar, CO2, He, H2, CH4 and N2O
| Air, O2, N2, Ar, CO2, He, H2, CH4 and N2O | flow | |
流体コネクタポート
Legris
| Legris |
Generic | |||
---|---|---|---|
供給電圧
14 - 26.4
| 14 - 26.4 | V | |
平均供給電流
75000
| 75000 | uA | |
最大供給電流
120000
| 120000 | uA | |
インターフェイス
Device net, RS485
| デバイスネット,RS485 | ||
サイズ (LxWxH)
115 x 24.6 x 91
| 115 x 24.6 x 91 | mm³ |
このセンサーを評価するために、以下の製品を購入します。
名称 | 説明 | シリーズ | カテゴリ |
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EK-F5x | SFCおよびSFM評価キットSFC5x00、SFM5x00, SFC6xxx, SFM6xxx | EK-F5x | マスフローコントローラー |
センシリオンのセンサーソリューションは、幅広いアプリケーションと市場で使用されています。当社の信頼性の高い環境センサーとフローセンサーは、エネルギー効率を改善し、健康を増進し、安全性と快適性を確保します。