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汎用マスフローコント ローラー、オンライン 流通、0.5 slm
仕様
質量流量
フルスケール流量
0.5
slm
フルスケール流量
500
sccm
標準精度
0.08% FS or 0.8% m.v
最大作業圧力
5
bar
調整
Air, O2, N2, Ar, CO2, He, H2, CH4およびN2O
flow
流体コネクタポート
Legris
ジェネリック
供給電圧
14 - 26.4
V
平均供給電流
75000
μA
最大供給電流
120000
μA
インターフェース
IOリンク, ModBus, RS485
パッケージサイズ(LxWxH)
115 x 24.6 x 91
mm³
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