SFC5400

多用途マスフローコントローラー

仕様

質量流量
フルスケール流量
1, 2, 5, 10, 20, 50および100
slm
フルスケール流量
50, 100, 200および500
sccm
標準精度
0.08% FS or 0.8% SP
最大作業圧力
5
bar
調整
Air, O2, N2, Ar, CO2, He, H2, CH4, N2O, SF6およびC4F8
flow
流体コネクタポート
Swagelock, VCO, VCR, Downmount
ジェネリック
供給電圧
14 - 26.4
V
平均供給電流
50000
uA
最大供給電流
320000
uA
インターフェース
アナログ電圧, アナログ電流, デバイスネット, IOリンク, RS485
パッケージサイズ(LxWxH)
101.1 x 24.4 x 91
mm³

テクニカルダウンロード

名前
タイプ
日付
ファイル
サイズ
Datasheet SFC5400/SFM5400
データシート
09/2022
PDF
798.5 KB
STEP file SFC5400
CAD
10/2021
ZIP
3.2 MB
Software SFC5xxx/SFM5xxx
ビューアソフト
04/2022
ZIP
1.1 MB
Engineering guide SFC5xxx/SFM5xxx
アプリケーションノート
08/2022
PDF
994.5 KB
Mean time between failures analysis
アプリケーションノート
08/2022
PDF
202.9 KB
Reference and flow conversions
アプリケーションノート
09/2021
PDF
293.7 KB
Selection guide mass flow controllers
アプリケーションノート
07/2022
PDF
255.6 KB
SHDLC Interface Reference SFM5xxx/SFC5xxx
アプリケーションノート
02/2022
PDF
665.2 KB
Quick start guide SFC5xxx/SFM5xxx
ユーザーガイド
09/2021
PDF
669.9 KB
Recalibration tool SFC5xxx/SFM5xxx
ユーザーガイド
07/2022
PDF
1002.3 KB
Software manual SFC5xxx/SFM5xxx
ユーザーガイド
03/2022
PDF
1.3 MB
Recalibration tool software SFC5xxx/SFM5xxx
ソフトウェア
06/2022
MSI
1.7 MB
Software library LabVIEW, C, C# SFC5xxx/SFM5xxx
ソフトウェア
03/2022
ZIP
1.7 MB
Mounting Plate SFX54xx
CAD
07/2022
STEP
168.2 KB
Mass Flow Controllers brochure
フライヤー
11/2022
PDF
582.5 KB
Product flyer SFC PV applications
フライヤー
02/2013
PDF
543.4 KB
REACH and RoHS declaration SFC
証明書
07/2022
PDF
95.0 KB

このセンサーを評価するには、次の製品を購入してください

マスフローコントローラー「SFC5400」は、優れた精度、長期安定性、再現性で質量流量を測定および制御し、広いダイナミックレンジで測定可能です。設定変更が自在な「SFC5400」の本体ボディーは金属製です。さらに、様々なインターフェースと様々な流体接続が可能で、50sccm~200slmの最大流量を測定できます。センサー信号は、チップ上で校正、温度補償されたデジタル信号に直接変換されます。複数のガス校正データを1つのデバイスに保存できます。さらに、マスフローコントローラーは、動作中のガス校正値が、測定している実際のガスと一致するかどうかをチェックすることもできます。マスフローコントローラー「SFC5400」は汎用性が高いので、産業機器および医療アプリケーションに理想的なソリューションとなります。

マスフローコントローラー「SFC5400」は、当社の全てのセンサーと同様に、高精度センサー素子とアナログおよびデジタル信号処理回路を1つのCMOSチップ上に統合し、優れた性能を発揮する画期的なCMOSens®技術を基にしています。高品質の材料と組み合わせることで、耐久性の高い、非常に高速で高精度なマスフローコントローラーとなっています。

マスフローコントローラー「SFC5400」にはバルブのないバージョンもあります。マスフローメーター「SFM5400」は、マスフローコントローラーと同じ性能、特性を持ち、同様のアプリケーションで使用されますので、これらを組み合わせて使用することも可能です。
※マスフローメーター「SFM5400」に関してのより詳しい情報はこちらをご確認ください。

所要数量の多いお客様のプロジェクトには、お客様の特定のご要望に合わせてマスフローコントローラーを開発いたします。

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