マスフローコントローラー「SFC5300」は、優れた精度、長期的な安定性、再現性でマスフローを計測・制御します。コンパクトサイズでありながら、ダイナミックな測定範囲を実現しています。本体筐体は金属製です。マスフローコントローラ「SFC5330」は、ダウンマウント接続やデジタルインターフェースを備えています。マスフローコントローラー「SFC5300」の小型版で、コスト重視の大量生産OEMプロジェクトに適しています。

卓越した性能を実現するマスフローメーター「SFC5330」。他のSensirion製センサーと同様、高精度のセンサー技術とプロセス用電子機器をCMOSシリコンチップ上に搭載した革新的なCMOSens®技術に支えられています。高品質な素材と組み合わせることで、耐久性が高く安定した、高速・高精度なSFC5330マスフローコントローラーを実現しています。マスフローコントローラ「SFC5330」は、バルブレスタイプもあります。2種類のセンサー製品は同じ性能特性を備え、用途も類似しているため、組み合わせてお使いいただけます。

数量が多いプロジェクトの場合は、要件に合ったマスフローコントローラーを調整・開発します。