SFC5330

コスト重視のOEMプロジェクトで大量生産するための小型MFC

仕様

質量流量
フルスケール流量
1, 2および5
slm
フルスケール流量
50, 100, 200および500
sccm
標準精度
0.2%FS or 2% m.v.
最大作業圧力
10
bar
調整
Air, O2, N2, Ar, CO2, He, H2, CH4, N2O, SF6およびC4F8
flow
流体コネクタポート
Downmount
ジェネリック
供給電圧
14 - 26.4
V
平均供給電流
50000
μA
最大供給電流
320000
μA
インターフェース
RS485
パッケージサイズ(LxWxH)
34 x 25 x 62.2
mm³

テクニカルダウンロード

名前
タイプ
日付
ファイル
サイズ
Software SFC5xxx/SFM5xxx
ビューアソフト
04/2022
ZIP
1.1 MB
Datasheet SFC5300
データシート
08/2021
PDF
1.0 MB
Reference and flow conversions
アプリケーションノート
09/2021
PDF
293.7 KB
SHDLC Interface Reference SFM5xxx/SFC5xxx
アプリケーションノート
02/2022
PDF
665.2 KB
Quick start guide SFC5xxx/SFM5xxx
ユーザーガイド
09/2021
PDF
669.9 KB
Recalibration tool SFC5xxx/SFM5xxx
ユーザーガイド
06/2022
PDF
1004.9 KB
Software manual SFC5xxx/SFM5xxx
ユーザーガイド
03/2022
PDF
1.3 MB
Recalibration tool software SFC5xxx/SFM5xxx
ソフトウェア
06/2022
MSI
1.7 MB
STEP file SFC5300
CAD
10/2021
ZIP
4.7 MB
Product brochure SFC
フライヤー
10/2017
PDF
2.2 MB
Product flyer SFC PV applications
フライヤー
02/2013
PDF
543.4 KB
REACH and RoHS declaration SFC
証明書
07/2021
PDF
94.9 KB

このセンサーを評価するには、次の製品を購入してください

マスフローコントローラー「SFC5300」は、優れた精度、長期的な安定性、再現性でマスフローを計測・制御します。コンパクトサイズでありながら、ダイナミックな測定範囲を実現しています。本体筐体は金属製です。マスフローコントローラ「SFC5330」は、ダウンマウント接続やデジタルインターフェースを備えています。マスフローコントローラー「SFC5300」の小型版で、コスト重視の大量生産OEMプロジェクトに適しています。

卓越した性能を実現するマスフローメーター「SFC5330」。他のSensirion製センサーと同様、高精度のセンサー技術とプロセス用電子機器をCMOSシリコンチップ上に搭載した革新的なCMOSens®技術に支えられています。高品質な素材と組み合わせることで、耐久性が高く安定した、高速・高精度なSFC5330マスフローコントローラーを実現しています。マスフローコントローラ「SFC5330」は、バルブレスタイプもあります。2種類のセンサー製品は同じ性能特性を備え、用途も類似しているため、組み合わせてお使いいただけます。

数量が多いプロジェクトの場合は、要件に合ったマスフローコントローラーを調整・開発します。

製品の印象

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