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コスト重視のOEMプロジェクトで大量生産するための小型MFC
仕様
質量流量
フルスケール流量
1, 2および5
slm
フルスケール流量
50, 100, 200および500
sccm
標準精度
0.2%FS or 2% m.v.
最大作業圧力
10
bar
調整
Air, O2, N2, Ar, CO2, He, H2, CH4, N2O, SF6およびC4F8
flow
流体コネクタポート
Downmount
ジェネリック
供給電圧
14 - 26.4
V
平均供給電流
50000
μA
最大供給電流
320000
μA
インターフェース
RS485
パッケージサイズ(LxWxH)
34 x 25 x 62.2
mm³
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日付
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