仕様

マスフロー
フルスケール流量
1, 2, 5 and 10
1, 2, 5 and 10 slm
フルスケール流量
50, 100, 200 and 500
50, 100, 200 and 500 sccm
精度
0.2%FS or 2% SP
0.2%FS or 2% SP
最高使用圧力
10
10 bar
キャリブレーション
Air, O2, N2, Ar, CO2, He, H2, CH4, N2O, SF6 and C4F8
Air, O2, N2, Ar, CO2, He, H2, CH4, N2O, SF6 and C4F8 flow
流体コネクタポート
Downmount
ダウンマウント
Generic
供給電圧
14 - 26.4
14 - 26.4 V
平均供給電流
50000
50000 uA
最大供給電流
320000
320000 uA
インターフェイス
RS485
RS485
サイズ (LxWxH)
48 x 25 x 79.5
48 x 25 x 79.5 mm³

技術ダウンロード

名称 種類 日付 ファイル名 サイズ
Software SFC5xxx/SFM5xxx

04/2022

ファイル

1.1 MB

ビューアソフト 04/2022 ZIP 1.1 MB
Datasheet SFC5300/SFM5300 & SFC5330/SFM5330

05/2023

ファイル

895.6 KB

データシート 05/2023 PDF 895.6 KB
Engineering guide SFC5xxx/SFM5xxx

07/2023

ファイル

869.9 KB

アプリケーションノート 07/2023 PDF 869.9 KB
Mean time between failures analysis

08/2022

ファイル

202.9 KB

アプリケーションノート 08/2022 PDF 202.9 KB
Reference and flow conversions

09/2021

ファイル

293.7 KB

アプリケーションノート 09/2021 PDF 293.7 KB
Selection guide mass flow controllers

11/2023

ファイル

347.8 KB

アプリケーションノート 11/2023 PDF 347.8 KB
SHDLC Interface Reference SFM5xxx/SFC5xxx

02/2022

ファイル

665.2 KB

アプリケーションノート 02/2022 PDF 665.2 KB
Quick start guide SFC5xxx/SFM5xxx

09/2021

ファイル

369.3 KB

ユーザーガイド 09/2021 PDF 369.3 KB
Recalibration tool SFC5xxx/SFM5xxx

07/2022

ファイル

1002.3 KB

ユーザーガイド 07/2022 PDF 1002.3 KB
Software manual SFC5xxx/SFM5xxx

03/2022

ファイル

1.3 MB

ユーザーガイド 03/2022 PDF 1.3 MB
Python driver SFC5xxx/SFM5xxx

03/2022

Link

-

ソフトウェア 03/2022 リンク -
Recalibration tool software SFC5xxx/SFM5xxx

06/2022

ファイル

-

ソフトウェア 06/2022 ファイル名 -
Software library LabVIEW, C, C# SFC5xxx/SFM5xxx

03/2022

ファイル

1.7 MB

ソフトウェア 03/2022 ZIP 1.7 MB
Mounting plate SFX53xx

07/2022

ファイル

196.0 KB

CAD 07/2022 STEP 196.0 KB
STEP file SFC5300

10/2021

ファイル

4.7 MB

CAD 10/2021 ZIP 4.7 MB
REACH and RoHS declaration SFC

02/2024

ファイル

84.6 KB

証明書 02/2024 PDF 84.6 KB
Mass flow controllers brochure

11/2023

ファイル

868.7 KB

フライヤー 11/2023 PDF 868.7 KB

センサーの評価

このセンサーを評価するために、以下の製品を購入します。

名称 説明 シリーズ カテゴリ
EK-F5x
SFCおよびSFM評価キットSFC5x00、SFM5x00, SFC6xxx, SFM6xxx EK-F5x マスフローコントローラー

各ビューワーソフトをダウンロードして、測定を開始します

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評価キットでセンサーのテストが簡単に始められます

開始までの流れ

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