SFC5300

大量生産のコストに厳しいOEMプロジェクト向けMFC

仕様

質量流量
フルスケール流量
1, 2, 5および10
slm
フルスケール流量
50, 100, 200および500
sccm
標準精度
0.2%FS or 2% m.v.
最大作業圧力
10
bar
調整
Air, O2, N2, Ar, CO2, He, H2, CH4, N2O, SF6およびC4F8
flow
流体コネクタポート
Downmount
ジェネリック
供給電圧
14 - 26.4
V
平均供給電流
50000
μA
最大供給電流
320000
μA
インターフェース
IOリンク, RS485
パッケージサイズ(LxWxH)
48 x 25 x 79.5
mm³

テクニカルダウンロード

名前
タイプ
日付
ファイル
サイズ
Software manual SFC5xxx/SFM5xxx
ユーザーガイド
03/2022
PDF
1.3 MB
Product flyer SFC analytical instruments applications
フライヤー
01/2013
PDF
257.8 KB
Software SFC5xxx/SFM5xxx
ビューアソフト
04/2022
ZIP
1.1 MB
Datasheet SFC5300
データシート
08/2021
PDF
1.0 MB
Reference and flow conversions
アプリケーションノート
09/2021
PDF
293.7 KB
SHDLC Interface Reference SFM5xxx/SFC5xxx
アプリケーションノート
02/2022
PDF
665.2 KB
Quick start guide SFC5xxx/SFM5xxx
ユーザーガイド
09/2021
PDF
669.9 KB
Recalibration tool SFC5xxx/SFM5xxx
ユーザーガイド
06/2022
PDF
1004.9 KB
Recalibration tool software SFC5xxx/SFM5xxx
ソフトウェア
06/2022
MSI
1.7 MB
STEP file SFC5300
CAD
10/2021
ZIP
4.7 MB
Product brochure SFC
フライヤー
10/2017
PDF
2.2 MB
Product flyer SFC PV applications
フライヤー
02/2013
PDF
543.4 KB
REACH and RoHS declaration SFC
証明書
07/2021
PDF
94.9 KB

このセンサーを評価するには、次の製品を購入してください

マスフローコントローラー「SFC5300」は、優れた精度、長期安定性、再現性で質量流量を測定および制御します。これは、コンパクトなサイズにもかかわらず広いダイナミックレンジで測定可能です。「SFC5300」の本体ボディーは金属製です。マスフローコントローラー「SFC5300」の流体接続にはダウンマウント接続を、インターフェースには2つのデジタルインターフェイスを用意しています。マスフローコントローラー「SFC5300」は、マスフローコントローラー「SFC5400」の小型版で、コスト重視の量産OEMプロジェクト向けです。

マスフローコントローラー「SFC5300」は、当社の全てのセンサーと同様に、高精度センサー素子とアナログおよびデジタル信号処理回路を1つのCMOSチップ上に統合し、優れた性能を発揮する画期的なCMOSens®技術を基にしています。高品質の材料と組み合わせることで、耐久性の高い、非常に高速で高精度なマスフローコントローラーとなっています。

マスフローコントローラー「SFC5300」にはバルブのないバージョンもあります。マスフローメーター「SFM5300」は、マスフローコントローラーと同じ性能、特性を持ち、同様のアプリケーションで使用されますので、これらを組み合わせて使用することも可能です。
※マスフローメーター「SFM5300」に関してのより詳しい情報はこちらをご確認ください。

所要数量の多いお客様のプロジェクトには、お客様の特定のご要望に合わせてマスフローコントローラーを開発いたします。

製品の印象

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