後継製品

名称 説明 シリーズ カテゴリ
SFC5400
多用途マスフローコントローラー SFC5400 マスフローコントローラー

仕様

マスフロー
フルスケール流量
1, 2, 5 and 10
1, 2, 5 and 10 slm
精度
0.2%FS or 2% SP
0.2%FS or 2% SP
最高使用圧力
10
10 bar
キャリブレーション
Air, O2, N2, Ar and CO2
Air, O2, N2, Ar and CO2 flow
流体コネクタポート
Swagelock, VCO, VCR, Downmount
Swagelock, VCO, VCR, Downmount
Generic
供給電圧
14 - 26.4
14 - 26.4 V
平均供給電流
50000
50000 uA
最大供給電流
320000
320000 uA
インターフェイス
Analog voltage
アナログ電圧出力
サイズ (LxWxH)
105 x 38.5 x 90.5
105 x 38.5 x 90.5 mm³

技術ダウンロード

名称 種類 日付 ファイル名 サイズ
Datasheet SFC4000 (end of life)

01/2012

ファイル

431.2 KB

データシート 01/2012 PDF 431.2 KB
Mean time between failures analysis

08/2022

ファイル

202.9 KB

アプリケーションノート 08/2022 PDF 202.9 KB
Selection guide mass flow controllers

11/2023

ファイル

347.8 KB

アプリケーションノート 11/2023 PDF 347.8 KB
REACH and RoHS declaration SFC

02/2024

ファイル

84.6 KB

証明書 02/2024 PDF 84.6 KB
Mass flow controllers brochure

11/2023

ファイル

868.7 KB

フライヤー 11/2023 PDF 868.7 KB

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