後継製品
| 名称 | 説明 | シリーズ | カテゴリ |
|---|---|---|---|
 SFC5300 | 大量生産のコストに厳しいOEMプロジェクト向けMFC | SFC5300 | マスフローコントローラー |
仕様
| マスフロー | |||
|---|---|---|---|
| 精度
±0.2sccm ± 2% SP
| ±0.2sccm ± 2% SP | ||
| 最高使用圧力
5
| 5 | bar | |
| キャリブレーション
Air, He, H2 and Ar
| Air, He, H2 and Ar | flow | |
| 流体コネクタポート
Downmount
| ダウンマウント |
| Generic | |||
|---|---|---|---|
| 供給電圧
14.25 - 15.25
| 14.25 - 15.25 | V | |
| 最大供給電流
330000
| 330000 | uA | |
| インターフェイス
RS485
| RS485 | ||
| サイズ (LxWxH)
70 x 25 x 73
| 70 x 25 x 73 | mm³ |
技術ダウンロード
最新情報 マスフローコントローラー
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SFC6000
優れた価格性能比、カスタマイズ可能
- センサー
- マスフローコントローラー
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SFC6000D-50slm
優れた価格性能比、流通、50 slm
- センサー
- マスフローコントローラー
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SFC6000D-20slm
優れた価格性能比、流通、20 slm
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- マスフローコントローラー
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SFC6000D-5slm
優れた価格性能比、流通、5 slm
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SFC5460
Versatile MFC for OEM projects with high unit quantities
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- マスフローコントローラー
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SFC5500-2slm
汎用マスフローコント ローラー、オンライン 流通、2 slm
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- マスフローコントローラー
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SFC5500-50sccm
汎用マスフローコント ローラー、オンライン 流通、50sccm
- センサー
- マスフローコントローラー
アプリケーション用のスマートセンサー
センシリオンのセンサーソリューションは、幅広いアプリケーションと市場で使用されています。当社の信頼性の高い環境センサーとフローセンサーは、エネルギー効率を改善し、健康を増進し、安全性と快適性を確保します。