高性能マスフローコントローラーとマスフローメーターは、複数のガスに対応できるよう校正されており、互換性部品リストをもとにユーザーが簡単に交換できる押し込み式の継ぎ手が付属しています。また対応可能な流量範囲が非常に広く、従来デバイスにおける複数の流量範囲をカバーすることができます。SFC5500マスフローコントローラーは、流量範囲50sccmから200slmの多くの用途でご利用いただけます。さらに、新しいマスフローメーターシリーズ「SFM5500」が発売されています。このシリーズはSFC5500のバルブ無しタイプの姉妹品であり、同等の優れたパフォーマンスを備えています。これらの耐圧マスフローメーターは、現時点で次の4つの流量範囲でご利用いただけます。50 sccm、0.5 slm、2 slmおよび10 slmです。
SFC5500/SFM5500シリーズは、ガスフローの高精度制御においてセンシリオンが歩んできた20年間の優れた実績の集大成です。このセンサーはマイクロ熱量測定原理に基づいて、センシリオンの実績のあるCMOSens® MEMS技術を活用しています。これにより、市場に出ている他機器とは異なり、ドリフトすることがなく、また稼働中の再校正を必要としない、クラス最高のパフォーマンスと優れた信頼性を備えた先進的なマスフローコントローラーとマスフローメーターを作ることができました。
CMOSens® MEMSフローセンサーが実現できる幅広い流量制御範囲によって、SFC5500/SFM5500シリーズは1台の機器で従来のマスフローコントローラー/メーターの複数の流量範囲に対応できます。複数のガス校正と交換可能な継ぎ手を組み合わせたSFC5500/SFM5500マスフローコントローラー/メーターは、医療、分析、産業の業界の用途に適した標準の既製品として入手可能な、市場初の製品です。この高い汎用性により、カタログ販売を通じて購入できる初のマスフローコントローラーでもあります。
SFC5500/SFM5500シリーズは、最高の精度、最高速度、および最も広いダイナミックレンジが必要とされる幅広いアプリケーションに適しています。例えば、医療および分析機器でのガス混合、バイオリアクターや半導体アプリケーション、産業自動化のプロセス制御におけるフロー制御、研究開発や試作等に適しています。
新製品のバリエーションに関する詳細は、6月21日から24日にかけてドイツのミュンヘンで開催されるAnalytica 2022見本市(ホール A3、137番ブース)にぜひお越しください。
