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SFC6000-OEM

高性价比质量流量控制器，可定制版本

电源电压
22.8 - 25.2 V
准确度
0.2% FS or 2% SP
满量程流速
2, 5, 20 and 50 slm
满量程流速
500 sccm
尺寸 (长x宽x高)
102 x 45 x 20 mm³
  • 传感器
  • 质量流量控制器

SFC6000D-5slm

高性价比，发行版本，5 slm

电源电压
22.9 - 25.9 V
准确度
0.2% FS or 2% SP
满量程流速
5 slm
满量程流速
5000 sccm
尺寸 (长x宽x高)
102 x 45 x 20 mm³
  • 传感器
  • 质量流量控制器

SFC6000D-50slm

高性价比，发行版本，50 slm

电源电压
22.8 - 25.2 V
准确度
0.2% FS or 2% SP
满量程流速
50 slm
满量程流速
50000 sccm
尺寸 (长x宽x高)
102 x 45 x 20 mm³
  • 传感器
  • 质量流量控制器

SFC6000D-20slm

高性价比，发行版本，20 slm

电源电压
22.8 - 25.2 V
准确度
0.2% FS or 2% SP
满量程流速
20 slm
满量程流速
20000 sccm
尺寸 (长x宽x高)
102 x 45 x 20 mm³
  • 传感器
  • 质量流量控制器

SFC5500-50sccm

多功能质量流量控制器，线上分销，50 sccm

电源电压
14 - 26.4 V
准确度
0.2%FS or 2% SP
满量程流速
0.05 slm
满量程流速
50 sccm
尺寸 (长x宽x高)
105 x 38.5 x 90.5 mm³
  • 传感器
  • 质量流量控制器

SFC5500-2slm

多功能质量流量控制器，线上分销，2slm

电源电压
14 - 26.4 V
准确度
0.08% FS or 0.8% SP
满量程流速
2 slm
满量程流速
2000 sccm
尺寸 (长x宽x高)
105 x 38.5 x 90.5 mm³
  • 传感器
  • 质量流量控制器

SFC5500-200slm

多功能质量流量控制器，线上分销，200 slm

电源电压
14 - 26.4 V
准确度
0.08% FS or 0.8% SP
满量程流速
200 slm
满量程流速
200000 sccm
尺寸 (长x宽x高)
135 x 24.6 x 91 mm³
  • 传感器
  • 质量流量控制器

SFC5500-10slm

多功能质量流量控制器，线上分销，10 slm

电源电压
14 - 26.4 V
准确度
0.08% FS or 0.8% SP
满量程流速
10 slm
满量程流速
10000 sccm
尺寸 (长x宽x高)
115 x 24.6 x 91 mm³
  • 传感器
  • 质量流量控制器

SFC5500-0.5slm

多功能质量流量控制器，线上分销，0.5 slm

电源电压
14 - 26.4 V
准确度
0.08% FS or 0.8% SP
满量程流速
0.5 slm
满量程流速
500 sccm
尺寸 (长x宽x高)
115 x 24.6 x 91 mm³
  • 传感器
  • 质量流量控制器

SFC5460

Versatile MFC for OEM projects with high unit quantities

电源电压
14 - 26 V
准确度
0.08% FS or 0.8% SP
满量程流速
0.05, 0.1, 0.2, 0.5, 1, 2, 5 and 10 slm slm
满量程流速
20 and 50 and 100 sccm sccm
尺寸 (长x宽x高)
101.1 x 24.4 x 91 mm³
  • 传感器
  • 质量流量控制器

SFC5400

多功能质量流量控制器

电源电压
14 - 26.4 V
准确度
0.08% FS or 0.8% SP
满量程流速
1, 2, 5, 10, 20, 50 and 100 slm
满量程流速
50, 100, 200 and 500 sccm
尺寸 (长x宽x高)
101.1 x 24.4 x 91 mm³
  • 传感器
  • 质量流量控制器

SFC5330

小型质量流量控制器（成本敏感，大批量OEM应用）

电源电压
14 - 26.4 V
准确度
0.2%FS or 2% SP
满量程流速
1, 2 and 5 slm
满量程流速
50, 100, 200 and 500 sccm
尺寸 (长x宽x高)
34 x 25 x 62.2 mm³
  • 传感器
  • 质量流量控制器
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