SFC5460

Versatile MFC for OEM projects with high unit quantities

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规范

质量流量
满量程流速
0.05, 0.1, 0.2, 0.5, 1, 2, 5 and 10 slm
0.05, 0.1, 0.2, 0.5, 1, 2, 5 and 10 slm slm
满量程流速
20 and 50 and 100 sccm
20 and 50 and 100 sccm sccm
准确度
0.08% FS or 0.8% SP
0.08% FS or 0.8% SP
最大工作压力
5
5 bar
校准
Air, H2, O2, He, Ar, CO2 and N2 and O2 flow
Air, H2, O2, He, Ar, CO2 and N2 and O2 flow flow
流体连接器端口
Swagelok, VCR, VCO, W-Seal, Downmount
Swagelok, VCR, VCO, W-Seal, Downmount
Generic
电源电压
14 - 26
14 - 26 V
平均供应电流
50000
50000 uA
最大供应电流
320000
320000 uA
接口
RS485
RS485
尺寸 (长x宽x高)
101.1 x 24.4 x 91
101.1 x 24.4 x 91 mm³

下载

名称 类型 日期 文件 规模
Datasheet SFC5460/SFM5460

05/2023

File

771.3 KB

数据表 05/2023 PDF 771.3 KB
STEP file downmount SFC5460/SFM5460

08/2022

File

25.2 MB

Drawings/CAD 08/2022 STEP 25.2 MB
Engineering guide SFC5xxx/SFM5xxx

07/2023

File

869.9 KB

应用说明 07/2023 PDF 869.9 KB
Mean time between failures analysis

08/2022

File

202.9 KB

应用说明 08/2022 PDF 202.9 KB
Reference and flow conversions

09/2021

File

293.7 KB

应用说明 09/2021 PDF 293.7 KB
Selection guide mass flow controllers

11/2023

File

347.8 KB

应用说明 11/2023 PDF 347.8 KB
SHDLC Interface Reference SFM5xxx/SFC5xxx

02/2022

File

665.2 KB

应用说明 02/2022 PDF 665.2 KB
Quick start guide SFC5xxx/SFM5xxx

09/2021

File

369.3 KB

用户指南 09/2021 PDF 369.3 KB
Recalibration tool SFC5xxx/SFM5xxx

07/2022

File

1002.3 KB

用户指南 07/2022 PDF 1002.3 KB
Software manual SFC5xxx/SFM5xxx

03/2022

File

1.3 MB

用户指南 03/2022 PDF 1.3 MB
Python driver SFC5xxx/SFM5xxx

03/2022

Link

-

软件 03/2022 链接 -
Recalibration tool software SFC5xxx/SFM5xxx

06/2022

File

-

软件 06/2022 文件 -
Software library LabVIEW, C, C# SFC5xxx/SFM5xxx

03/2022

File

1.7 MB

软件 03/2022 ZIP 1.7 MB
Software SFC5xxx/SFM5xxx

04/2022

File

1.1 MB

软件 04/2022 ZIP 1.1 MB
Mounting Plate SFX54xx

07/2022

File

168.2 KB

Drawings/CAD 07/2022 STEP 168.2 KB
REACH and RoHS declaration SFC

11/2024

File

90.5 KB

证明书 11/2024 PDF 90.5 KB
Mass flow controllers brochure

05/2024

File

540.8 KB

传单 05/2024 PDF 540.8 KB

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