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複数ガス用高圧マスフローメータ、50sccm
仕様
質量流量
フルスケール流量
0.05
slm
フルスケール流量
50
sccm
標準精度
0.2%FS or 2% SP
最大作業圧力
10
bar
調整
Air, O2, N2, Ar, CO2, He, H2, CH4およびN2O
flow
流体コネクタポート
Legris
ジェネリック
供給電圧
14 - 26.4
V
平均供給電流
35000
uA
最大供給電流
50000
uA
インターフェース
デバイスネット, RS485
パッケージサイズ(LxWxH)
105 x 38.5 x 90.5
mm³
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