SFM5500-2slm
複数ガス用高圧マスフローメータ、2slm
「SFM5500」マスフローメーターシリーズは、ガスフロー測定においてセンシリオンが歩んできた20年間の優れた実績の集大成です。マイクロ熱量測定原理に基づいて、センシリオンの実績のあるCMOSens® MEMS技術を活用しています。これにより、当社はクラス最高のパフォーマンスと優れた信頼性を備えた先進的なマスフローメーターを作ることができました。本製品は市場に出ているその他機器とは異なり、ドリフトすることがなく、稼働中に再校正する必要がありません。 CMOSens® MEMSフローセンサーが実現する非常に広い測定範囲によって、「SFM5500」シリーズは一台の機器で従来のマスフローメーターの複数の流量範囲に対応できます。金属ボディーを採用しているため、さらに高圧耐性を可能にしています。他社製品と比較して、SFM5500は小流量（最大50 sccmフルスケールフロー）、および大流量のガスフローに適しています。マルチガス校正と交換可能な継ぎ手を組み合わせた「SFM5500」シリーズは、医療、分析、産業の業界の用途に適した標準の既製品として入手可能な市場初のマスフローメーターです。この汎用性により、「SFM5500」シリーズはカタログ販売を通じて購入できます。 「SFM5500」シリーズは、センシリオンのクラス最高のマスフローメーターのSFM5xxxファミリーを補完し、「SFM5400」と同等の最高性能を提供するので、最高の精度、最高速度、および最も広いダイナミックレンジが必要とされる幅広いアプリケーションに適しています。ただし、様々な機能構成が選択可能な「SFM5400」シリーズとは異なり、「SFM5500」シリーズマスフローメーターはあらかじめ決められた複数の組み合わせからお選びいただきます。その他のガス、流量範囲、適合性、インターフェースが必要な場合は、「SFM5400」またはセンシリオンの量産OEMプロジェクト用の最も費用効果の高いソリューションである「SFM5300」をご確認ください。 マスフローコントローラーをお探しの方には、バルブ付き「SFM5500」の姉妹製品の「SFC5500」があります。「SFC5500」も同等の優れたパフォーマンスを発揮します。
仕様
| マスフロー | |||
|---|---|---|---|
| フルスケール流量
2
| 2 | slm | |
| フルスケール流量
2000
| 2000 | sccm | |
| 精度
0.08% FS or 0.8% SP
| 0.08% FS or 0.8% SP | ||
| 最高使用圧力
10
| 10 | bar | |
| キャリブレーション
Air, O2, N2, Ar, CO2, He, H2, CH4 and N2O
| Air, O2, N2, Ar, CO2, He, H2, CH4 and N2O | flow | |
| 流体コネクタポート
Legris
| Legris |
| Generic | |||
|---|---|---|---|
| 供給電圧
14 - 26.4
| 14 - 26.4 | V | |
| 平均供給電流
35000
| 35000 | uA | |
| 最大供給電流
50000
| 50000 | uA | |
| インターフェイス
Device net, RS485
| デバイスネット,RS485 | ||
| サイズ (LxWxH)
105 x 38.5 x 90.5
| 105 x 38.5 x 90.5 | mm³ |
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