SFM5460

High-precision, configurable, fast, gas flow sensor for OEM

仕様

質量流量
フルスケール流量
0.05, 0.1, 0.2, 0.5, 1, 2, 5および10 slm
slm
フルスケール流量
20および50 and 100 sccm
sccm
標準精度
0.08% FS or 0.8% SP
最大作業圧力
5
bar
調整
Air, H2, O2, He, Ar, CO2およびN2 and O2 flow
flow
ジェネリック
供給電圧
14 - 26
V
平均供給電流
50000
uA
最大供給電流
320000
uA
インターフェース
RS485
パッケージサイズ(LxWxH)
101.1 x 24.4 x 91
mm³

テクニカルダウンロード

名前
タイプ
日付
ファイル
サイズ
Datasheet SFC5460/SFM5460
データシート
09/2022
PDF
771.0 KB
Mounting Plate SFX54xx
CAD
07/2022
STEP
168.2 KB
STEP file downmount SFC5460/SFM5460
CAD
08/2022
STEP
25.2 MB
STEP file SFM5400
CAD
07/2022
ZIP
3.7 MB
Software SFC5xxx/SFM5xxx
ビューアソフト
04/2022
ZIP
1.1 MB
Engineering guide SFC5xxx/SFM5xxx
アプリケーションノート
08/2022
PDF
994.5 KB
Reference and flow conversions
アプリケーションノート
09/2021
PDF
293.7 KB
Reference and flow conversions calculator
アプリケーションノート
10/2021
XLSX
30.3 KB
SHDLC Interface Reference SFM5xxx/SFC5xxx
アプリケーションノート
02/2022
PDF
665.2 KB
Quick start guide SFC5xxx/SFM5xxx
ユーザーガイド
09/2021
PDF
669.9 KB
Recalibration tool SFC5xxx/SFM5xxx
ユーザーガイド
07/2022
PDF
1002.3 KB
Software manual SFC5xxx/SFM5xxx
ユーザーガイド
03/2022
PDF
1.3 MB
Recalibration tool software SFC5xxx/SFM5xxx
ソフトウェア
06/2022
MSI
1.7 MB
Software library LabVIEW, C, C# SFC5xxx/SFM5xxx
ソフトウェア
03/2022
ZIP
1.7 MB
Engineering guide SFM
ユーザーガイド
01/2021
PDF
592.1 KB
REACH and RoHS declaration SFM/SGM
証明書
07/2022
PDF
99.6 KB
Gas flow sensors brochure
フライヤー
08/2021
PDF
1013.9 KB

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