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High-precision, configurable, fast, gas flow sensor for OEM
仕様
質量流量
フルスケール流量
0.05, 0.1, 0.2, 0.5, 1, 2, 5および10 slm
slm
フルスケール流量
20および50 and 100 sccm
sccm
標準精度
0.08% FS or 0.8% SP
最大作業圧力
5
bar
調整
Air, H2, O2, He, Ar, CO2およびN2 and O2 flow
flow
ジェネリック
供給電圧
14 - 26
V
平均供給電流
50000
uA
最大供給電流
320000
uA
インターフェース
RS485
パッケージサイズ(LxWxH)
101.1 x 24.4 x 91
mm³
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