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高精度、構成可能、高速、マルチガスフローセンサー
仕様
質量流量
フルスケール流量
0.05, 0.1, 0.2, 0.5, 1, 2, 5, 10, 20, 50および100
slm
標準精度
0.08% FS or 0.8% SP
最大作業圧力
10
bar
調整
Air, O2, N2, Ar, CO2, He, H2, CH4, N2O, SF6およびC4F8
flow
流体コネクタポート
Swagelock, VCO, VCR, Downmount
ジェネリック
供給電圧
14 - 26.4
V
平均供給電流
50000
uA
最大供給電流
320000
uA
インターフェース
アナログ電圧, アナログ電流, デバイスネット, IOリンク, RS485
パッケージサイズ(LxWxH)
101.1 x 24.4 x 91
mm³
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