SFM5400

高精度、構成可能、高速、マルチガスフローセンサー

仕様

マスフロー
フルスケール流量
0.05, 0.1, 0.2, 0.5, 1, 2, 5, 10, 20, 50 and 100
0.05, 0.1, 0.2, 0.5, 1, 2, 5, 10, 20, 50 and 100 slm
精度
0.08% FS or 0.8% SP
0.08% FS or 0.8% SP
最高使用圧力
10
10 bar
キャリブレーション
Air, O2, N2, Ar, CO2, He, H2, CH4, N2O, SF6 and C4F8
Air, O2, N2, Ar, CO2, He, H2, CH4, N2O, SF6 and C4F8 flow
流体コネクタポート
Swagelock, VCO, VCR, Downmount
Swagelock, VCO, VCR, Downmount
Generic
供給電圧
14 - 26.4
14 - 26.4 V
平均供給電流
50000
50000 uA
最大供給電流
320000
320000 uA
インターフェイス
Analog voltage, Analog current, Device net, IO link, RS485
アナログ電圧出力,アナログ電流,デバイスネット,IOリンク,RS485
サイズ (LxWxH)
101.1 x 24.4 x 91
101.1 x 24.4 x 91 mm³

技術ダウンロード

名称 種類 日付 ファイル名 サイズ
Datasheet SFC5400/SFM5400

05/2023

ファイル

798.8 KB

データシート 05/2023 PDF 798.8 KB
Mounting Plate SFX54xx

07/2022

ファイル

168.2 KB

CAD 07/2022 STEP 168.2 KB
STEP file SFC5400

10/2021

ファイル

3.2 MB

CAD 10/2021 ZIP 3.2 MB
STEP file SFM5400

07/2022

ファイル

3.7 MB

CAD 07/2022 ZIP 3.7 MB
Software SFC5xxx/SFM5xxx

04/2022

ファイル

1.1 MB

ビューアソフト 04/2022 ZIP 1.1 MB
Engineering guide SFC5xxx/SFM5xxx

07/2023

ファイル

869.9 KB

アプリケーションノート 07/2023 PDF 869.9 KB
Reference and flow conversions

09/2021

ファイル

293.7 KB

アプリケーションノート 09/2021 PDF 293.7 KB
Reference and flow conversions calculator

10/2021

ファイル

30.3 KB

アプリケーションノート 10/2021 XLSX 30.3 KB
SHDLC Interface Reference SFM5xxx/SFC5xxx

02/2022

ファイル

665.2 KB

アプリケーションノート 02/2022 PDF 665.2 KB
Quick start guide SFC5xxx/SFM5xxx

09/2021

ファイル

369.3 KB

ユーザーガイド 09/2021 PDF 369.3 KB
Recalibration tool SFC5xxx/SFM5xxx

07/2022

ファイル

1002.3 KB

ユーザーガイド 07/2022 PDF 1002.3 KB
SFC5xxx DeviceNet communication interface reference

03/2023

ファイル

796.4 KB

ユーザーガイド 03/2023 PDF 796.4 KB
Software manual SFC5xxx/SFM5xxx

03/2022

ファイル

1.3 MB

ユーザーガイド 03/2022 PDF 1.3 MB
Python driver SFC5xxx/SFM5xxx

03/2022

Link

-

ソフトウェア 03/2022 リンク -
Recalibration tool software SFC5xxx/SFM5xxx

06/2022

ファイル

-

ソフトウェア 06/2022 ファイル名 -
Software library LabVIEW, C, C# SFC5xxx/SFM5xxx

03/2022

ファイル

1.7 MB

ソフトウェア 03/2022 ZIP 1.7 MB
REACH and RoHS declaration SFM/SGM

02/2024

ファイル

88.9 KB

証明書 02/2024 PDF 88.9 KB
Mass flow controllers brochure chinese

02/2024

ファイル

606.2 KB

フライヤー 02/2024 PDF 606.2 KB
Overview of Sensirion gas flow meters

01/2024

ファイル

1013.9 KB

フライヤー 01/2024 PDF 1013.9 KB

センサーの評価

このセンサーを評価するために、以下の製品を購入します。

名称 説明 シリーズ カテゴリ
EK-F5x
SFCおよびSFM評価キットSFC5x00、SFM5x00, SFC6xxx, SFM6xxx EK-F5x マスフローコントローラー

各ビューワーソフトをダウンロードして、測定を開始します

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