SFM5400

高精度、構成可能、高速、マルチガスフローセンサー

仕様

質量流量
フルスケール流量
0.05, 0.1, 0.2, 0.5, 1, 2, 5, 10, 20, 50および100
slm
標準精度
0.08% FS or 0.8% m.v
最大作業圧力
10
bar
調整
Air, O2, N2, Ar, CO2, He, H2, CH4, N2O, SF6およびC4F8
flow
流体コネクタポート
Swagelock, VCO, VCR, Downmount
ジェネリック
供給電圧
14 - 26.4
V
平均供給電流
50000
μA
最大供給電流
320000
μA
インターフェース
アナログ電圧, アナログ電流, デバイスネット, IOリンク, RS485
パッケージサイズ(LxWxH)
101.1 x 24.4 x 91
mm³

テクニカルダウンロード

名前
タイプ
日付
ファイル
サイズ
Software SFC5xxx/SFM5xxx
ビューアソフト
04/2022
ZIP
1.1 MB
Datasheet SFM5400
データシート
02/2020
PDF
1.0 MB
SHDLC Interface Reference SFM5xxx/SFC5xxx
アプリケーションノート
02/2022
PDF
665.2 KB
Quick start guide SFC5xxx/SFM5xxx
ユーザーガイド
09/2021
PDF
669.9 KB
Software manual SFC5xxx/SFM5xxx
ユーザーガイド
03/2022
PDF
1.3 MB
Sample code LabVIEW C# SFC5xxx/SFM5xxx
ソフトウェア
03/2022
ZIP
1.7 MB
STEP file SFC5400
CAD
10/2021
ZIP
3.2 MB
Datasheet SFC5500 / SFM5500
データシート
04/2022
PDF
1.2 MB
Reference and flow conversions
アプリケーションノート
09/2021
PDF
293.7 KB
Reference and flow conversions calculator
アプリケーションノート
10/2021
XLSX
30.3 KB
Recalibration tool SFC5xxx/SFM5xxx
ユーザーガイド
06/2022
PDF
1004.9 KB
Recalibration tool software SFC5xxx/SFM5xxx
ソフトウェア
06/2022
MSI
1.7 MB
Engineering guide SFM
ユーザーガイド
01/2021
PDF
592.1 KB
REACH and RoHS declaration SFM/SGM
証明書
09/2021
PDF
99.4 KB
Product flyer SFM
フライヤー
08/2021
PDF
1013.9 KB

このセンサーを評価するには、次の製品を購入してください

マスフローメーター「SFM5400」は高精度(誤差<1%)、長期安定性と高い繰り返し精度、また広いダイナミックレンジを備えています。マスフローメーター「SFM5400」は金属性のボディーでできており、多様な継手とインターフェースに対応し50sccmから200slmまでの測定が可能です。「SFM5400」センサー信号はデジタル化され、完全な校正と温度補償が施されます。多様なガス校正は各デバイスに記憶され、測定しようとしているガスがマスフローメーターに校正されているガスと適合するか確認することができます。マスフローメーター「SFM5400」は産業向け医療向けアプリケーションに理想的なソリューションです。

高性能なマスフローメーター「SFM5400」は、センサー素子、信号処理回路が1つのCMOSチップ上に統合されている特許取得済みCMOSens®技術を活用しています。高品質材料との組み合わせで、その結果安定した耐久性、高速で高精度なマスフローメーターとなっています。

マスフローメーター「SFM5400」はマスフローコントローラー「SFC5400」のバルブのないバージョンです。マスフローコントローラー「SFC5400」はマスフローメーターと同じ性能特性となっており、類似したアプリケーションに使用され、これら2つの製品は理想的な組み合わせです。

※ マスフローコントローラー「SFC5400」に関してのより詳しい情報はこちらをご確認ください。

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