後継製品
| 名称 | 説明 | シリーズ | カテゴリ |
|---|---|---|---|
 SFC5300 | 大量生産のコストに厳しいOEMプロジェクト向けMFC | SFC5300 | マスフローコントローラー |
仕様
| マスフロー | |||
|---|---|---|---|
| 精度
±0.2sccm ± 2% SP
| ±0.2sccm ± 2% SP | ||
| 最高使用圧力
5
| 5 | bar | |
| キャリブレーション
Air, He, H2 and Ar
| Air, He, H2 and Ar | flow | |
| 流体コネクタポート
Downmount
| ダウンマウント |
| Generic | |||
|---|---|---|---|
| 供給電圧
14.25 - 15.25
| 14.25 - 15.25 | V | |
| 最大供給電流
330000
| 330000 | uA | |
| インターフェイス
RS485
| RS485 | ||
| サイズ (LxWxH)
70 x 25 x 73
| 70 x 25 x 73 | mm³ |
技術ダウンロード
アプリケーション用のスマートセンサー
センシリオンのセンサーソリューションは、幅広いアプリケーションと市場で使用されています。当社の信頼性の高い環境センサーとフローセンサーは、エネルギー効率を改善し、健康を増進し、安全性と快適性を確保します。