後継製品

名称 説明 シリーズ カテゴリ
SFC5300
大量生産のコストに厳しいOEMプロジェクト向けMFC SFC5300 マスフローコントローラー

仕様

マスフロー
精度
±0.2sccm ± 2% SP
±0.2sccm ± 2% SP
最高使用圧力
5
5 bar
キャリブレーション
Air, He, H2 and Ar
Air, He, H2 and Ar flow
流体コネクタポート
Downmount
ダウンマウント
Generic
供給電圧
14.25 - 15.25
14.25 - 15.25 V
最大供給電流
330000
330000 uA
インターフェイス
RS485
RS485
サイズ (LxWxH)
70 x 25 x 73
70 x 25 x 73 mm³

技術ダウンロード

名称 種類 日付 ファイル名 サイズ
Datasheet SFC3000 (end of life)

11/2008

ファイル

152.8 KB

データシート 11/2008 PDF 152.8 KB
Mean time between failures analysis

08/2022

ファイル

202.9 KB

アプリケーションノート 08/2022 PDF 202.9 KB
Selection guide mass flow controllers

11/2023

ファイル

347.8 KB

アプリケーションノート 11/2023 PDF 347.8 KB
REACH and RoHS declaration SFC

02/2024

ファイル

84.6 KB

証明書 02/2024 PDF 84.6 KB
Mass flow controllers brochure

11/2023

ファイル

868.7 KB

フライヤー 11/2023 PDF 868.7 KB

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