製品カタログ

SFC5500-50sccm 新着

汎用マスフローコント ローラー、オンライン 流通、50sccm

フルスケール流量
0.05 slm
標準精度
0.2%FS or 2% SP
フルスケール流量
50 sccm
パッケージサイズ(LxWxH)
105 x 38.5 x 90.5 mm³
センサー マスフローコントローラー

SFC5500-2slm 新着

汎用マスフローコント ローラー、オンライン 流通、2 slm

フルスケール流量
2 slm
標準精度
0.08% FS or 0.8% SP
フルスケール流量
2000 sccm
パッケージサイズ(LxWxH)
105 x 38.5 x 90.5 mm³
センサー マスフローコントローラー

SFC5500-200slm

汎用マスフローコント ローラー、オンライン 流通、200 slm

フルスケール流量
200 slm
標準精度
0.08% FS or 0.8% SP
フルスケール流量
200000 sccm
パッケージサイズ(LxWxH)
135 x 24.6 x 91 mm³
センサー マスフローコントローラー

SFC5500-10slm

汎用マスフローコント ローラー、オンライン 流通、10 slm

フルスケール流量
10 slm
標準精度
0.08% FS or 0.8% SP
フルスケール流量
10000 sccm
パッケージサイズ(LxWxH)
115 x 24.6 x 91 mm³
センサー マスフローコントローラー

SFC5500-0.5slm

汎用マスフローコント ローラー、オンライン 流通、0.5 slm

フルスケール流量
0.5 slm
標準精度
0.08% FS or 0.8% SP
フルスケール流量
500 sccm
パッケージサイズ(LxWxH)
115 x 24.6 x 91 mm³
センサー マスフローコントローラー
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