フォトレジストを塗布する際の正確な投与

半導体業界では、フォトレジストをウェーハに正確に塗布する工程が重要です。投与量が不十分だと収量の損失につながりますが、過剰だとコストが非常に高くなります。

Sensirion製の液体フローセンサーは、フォトレジストの小さな電流を測定できます。これにより、半導体の製造におけるフォトレジスト材料の正確な投与が可能になります。

リアルタイム測定により、製造プロセスの継続モニタリングが可能。製造プロセスの品質の変化は確実に検出され、早期介入によって製造エラーを防ぐことができます。

このセンサーは半導体用途に適しており、互換性、品質、信頼性に関するすべての要件を満たしています。

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センシリオンがソリューションにどのように貢献しているかをご覧ください

世界中の主要な半導体企業は、スピンコーティング施設でのフォトレジストの投与とモニタリングに当社の液体フローセンサーを利用しています。