SFM5300

Hochpräziser, konfigurierbarer, schneller, Sensor für OEM

Spezifikation

Massenfluss
Maximalfluss
0.05, 0.1, 0.2, 0.5, 1, 2, 5, 10, 20, 50 und 100
slm
Genauigkeit
0.2%FS or 2% SP
Maximaler Überdruck
10
bar
Kalibration
Air, O2, N2, Ar, CO2, He, H2, CH4, N2O, SF6 und C4F8
flow
Flulidische Anschlüsse
Downmount
Generisch
Eingangsspannungsbereich
14 - 26.4
V
Mittlerer Stromverbrauch
50000
uA
Maximaler Stromverbrauch
320000
uA
Signalausgänge
RS485
Verpackungsgrösse (LxBxH)
48 x 25 x 79.5
mm³

Technische Downloads

Namn
Typ
Datum
Datei
Grösse
Datasheet SFC5300/SFM5300 & SFC5330/SFM5330
Datenblatt
08/2021
PDF
1,0 MB
Datasheet SFM5300
Datenblatt
10/2016
PDF
568,9 KB
Mounting plate SFX53xx
CAD
07/2022
STEP
196,0 KB
STEP file SFM5300
CAD
07/2022
ZIP
5,4 MB
Software SFC5xxx/SFM5xxx
Viewer Software
04/2022
ZIP
1,1 MB
Engineering guide SFC5xxx/SFM5xxx
Anwendungshinweis
08/2022
PDF
994,5 KB
Reference and flow conversions
Anwendungshinweis
09/2021
PDF
293,7 KB
Reference and flow conversions calculator
Anwendungshinweis
10/2021
XLSX
30,3 KB
SHDLC Interface Reference SFM5xxx/SFC5xxx
Anwendungshinweis
02/2022
PDF
665,2 KB
Quick start guide SFC5xxx/SFM5xxx
Bedienungsanleitung
09/2021
PDF
669,9 KB
Recalibration tool SFC5xxx/SFM5xxx
Bedienungsanleitung
07/2022
PDF
1002,3 KB
Software manual SFC5xxx/SFM5xxx
Bedienungsanleitung
03/2022
PDF
1,3 MB
Recalibration tool software SFC5xxx/SFM5xxx
Software
06/2022
MSI
1,7 MB
Software library LabVIEW, C, C# SFC5xxx/SFM5xxx
Software
03/2022
ZIP
1,7 MB
Engineering guide SFM
Bedienungsanleitung
01/2021
PDF
592,1 KB
REACH and RoHS declaration SFM/SGM
Zertifikat
07/2022
PDF
99,6 KB
Gas Flow Sensors brochure
Flyer
08/2021
PDF
1013,9 KB

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Der Massenflussmesser SFM5300 ermöglicht die Messung von Massenfluss mit hoher Genauigkeit (Fehler < 2%), Langzeitstabilität und Wiederholbarkeit. Er besticht durch einen grossen dynamischen Messbereich und seine kompakte Bauweise. Der Massenflussmesser SFM5300 wird als Downmount-Komponente angeschlossen und verfügt über digitale Schnittstellen. Der aus Metall gefertigte SFM5300 ist die reduzierte Variante des Massenflussmessers SFM5400 und ist ausschliesslich für kostensensitive OEM-Projekte mit hohen Stückzahlen erhältlich.

Die herausragende Leistung der Massenmessers SFM5300 basiert auf der patentierten CMOSens® Technologie, die die hochpräzise Sensorik zusammen mit der Auswertelektronik auf einem CMOS Siliziumchip vereint. Kombiniert mit hochwertigen Materialien entsteht so der langzeitstabile, äusserst schnelle und hochpräzise Massenflussmesser SFM5300.

Der Massenflussmesser SFM5300 ist die ventillose Version des Massenflussreglers SFC5300. Die beiden Sensorprodukte verfügen über dieselben Leistungsmerkmale und kommen in ähnlichen Anwendungen zum Einsatz. Der Massenflussmesser SFM5300 lässt sich ideal mit dem Massenflussregler SFC5300 kombinieren. Weitere Informationen und detaillierte Spezifikationen zum Massenregler finden Sie auf der SFC5300 Website.

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