SFM5300
Hochpräziser, konfigurierbarer, schneller, Sensor für OEM
Der Massenflussmesser SFM5300 ermöglicht die Messung von Massenfluss mit hoher Genauigkeit (Fehler < 2%), Langzeitstabilität und Wiederholbarkeit. Er besticht durch einen grossen dynamischen Messbereich und seine kompakte Bauweise. Der Massenflussmesser SFM5300 wird als Downmount-Komponente angeschlossen und verfügt über digitale Schnittstellen. Der aus Metall gefertigte SFM5300 ist die reduzierte Variante des Massenflussmessers SFM5400 und ist ausschliesslich für kostensensitive OEM-Projekte mit hohen Stückzahlen erhältlich. Die herausragende Leistung der Massenmessers SFM5300 basiert auf der patentierten CMOSens® Technologie, die die hochpräzise Sensorik zusammen mit der Auswertelektronik auf einem CMOS Siliziumchip vereint. Kombiniert mit hochwertigen Materialien entsteht so der langzeitstabile, äusserst schnelle und hochpräzise Massenflussmesser SFM5300. Der Massenflussmesser SFM5300 ist die ventillose Version des Massenflussreglers SFC5300. Die beiden Sensorprodukte verfügen über dieselben Leistungsmerkmale und kommen in ähnlichen Anwendungen zum Einsatz. Der Massenflussmesser SFM5300 lässt sich ideal mit dem Massenflussregler SFC5300 kombinieren. Weitere Informationen und detaillierte Spezifikationen zum Massenregler finden Sie auf der SFC5300 Website.
Spezifikation
| Massenfluss | |||
|---|---|---|---|
| Skalenendwert Durchflussrate
0.05, 0.1, 0.2, 0.5, 1, 2, 5, 10, 20, 50 and 100
| 0.05, 0.1, 0.2, 0.5, 1, 2, 5, 10, 20, 50 and 100 | slm | |
| Genauigkeit
0.2%FS or 2% SP
| 0.2%FS or 2% SP | ||
| Maximaler Betriebsdruck
10
| 10 | bar | |
| Kalibrierung
Air, O2, N2, Ar, CO2, He, H2, CH4, N2O, SF6 and C4F8
| Air, O2, N2, Ar, CO2, He, H2, CH4, N2O, SF6 and C4F8 | flow | |
| Fluidische Anschlussmöglichkeiten
Downmount
| Abwärtsmontage |
| Generic | |||
|---|---|---|---|
| Versorgungsspannung
14 - 26.4
| 14 - 26.4 | V | |
| Durchschnittlicher Versorgungsstrom
50000
| 50000 | uA | |
| Max. Versorgungsstrom
320000
| 320000 | uA | |
| Schnittstellen
RS485
| RS485 | ||
| Grösse (LxBxH)
48 x 25 x 79.5
| 48 x 25 x 79.5 | mm³ |
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| Name | Beschreibung | Serien | Kategorie |
|---|---|---|---|
 EK-F5x | Evaluationskit für SFC5xxx und SFC6xxx Massenflussregler | EK-F5x | Massenflussregler |
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