Name | Beschreibung | Serien | Kategorie |
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SFC5300 | MFC für kostensensible OEM-Projekte mit hohen Stückzahlen | SFC5300 | Massenflussregler |
Massenfluss | |||
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Genauigkeit
±0.2sccm ± 2% SP
| ±0.2sccm ± 2% SP | ||
Maximaler Betriebsdruck
5
| 5 | bar | |
Kalibrierung
Air, He, H2 and Ar
| Air, He, H2 and Ar | flow | |
Fluidische Anschlussmöglichkeiten
Downmount
| Abwärtsmontage |
Generic | |||
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Versorgungsspannung
14.25 - 15.25
| 14.25 - 15.25 | V | |
Max. Versorgungsstrom
330000
| 330000 | uA | |
Schnittstellen
RS485
| RS485 | ||
Grösse (LxBxH)
70 x 25 x 73
| 70 x 25 x 73 | mm³ |
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