Spezifikation

Massenfluss
Genauigkeit
±0.2sccm ± 2% SP
Maximaler Überdruck
5
bar
Kalibration
Air, He, H2 und Ar
flow
Flulidische Anschlüsse
Downmount
Generisch
Eingangsspannungsbereich
14.25 - 15.25
V
Maximaler Stromverbrauch
330000
uA
Signalausgänge
RS485
Verpackungsgrösse (LxBxH)
70 x 25 x 73
mm³

Technische Downloads

Namn
Typ
Datum
Datei
Grösse
Datasheet SFC3000
Datenblatt
11/2008
PDF
152,8 KB
Mean time between failures analysis
Anwendungshinweis
08/2022
PDF
202,9 KB
Selection guide mass flow controllers
Anwendungshinweis
07/2022
PDF
255,6 KB
Product brochure SFC
Flyer
10/2017
PDF
2,2 MB
Product flyer SFC PV applications
Flyer
02/2013
PDF
543,4 KB
REACH and RoHS declaration SFC
Zertifikat
07/2022
PDF
95,0 KB

Der digitale Massenflussregler SFC3000 ermöglicht eine schnelle und präzise Steuerung von Gasflüssen über einen weiten Durchflussbereich hinweg. Seine ausgesprochen hohe Genauigkeit und schnelle Einschwingzeit resultieren aus der innovativen CMOSens® Technologie. Das digital kalibrierte und temperaturkompensierte Sensorsignal wird dabei direkt auf dem Chip zu einem Signal konvertiert, das im digitalen Regelkreislauf zur Kontrolle des Ventils verwendet wird. Des Weiteren können unterschiedliche Gastypen und Kontrollbereiche kalibriert und per Software umgeschaltet werden.

Der kleine SFC3000 bietet sich vor allem für hochvolumige OEM Anwendungen an. Er besticht durch hohe Stabilität und Wiederholgenauigkeit und eignet sich besonders für den Einsatz in analytischen Instrumenten.

Produkt Impressionen

Neueste Massenflussregler

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