SFC3000

NEND

Vorgänger des Massenflussreglers SFC5300

Nachfolgeprodukt

Name Beschreibung Serien Kategorie
SFC5300
MFC für kostensensible OEM-Projekte mit hohen Stückzahlen SFC5300 Massenflussregler

Spezifikation

Massenfluss
Genauigkeit
±0.2sccm ± 2% SP
±0.2sccm ± 2% SP
Maximaler Betriebsdruck
5
5 bar
Kalibrierung
Air, He, H2 and Ar
Air, He, H2 and Ar flow
Fluidische Anschlussmöglichkeiten
Downmount
Abwärtsmontage
Generic
Versorgungsspannung
14.25 - 15.25
14.25 - 15.25 V
Max. Versorgungsstrom
330000
330000 uA
Schnittstellen
RS485
RS485
Grösse (LxBxH)
70 x 25 x 73
70 x 25 x 73 mm³

Technischer Download

Name Typ Datum Datei Größe
Datasheet SFC3000 (end of life)

11/2008

Datei

152.8 KB

Datenblatt 11/2008 PDF 152.8 KB
Mean time between failures analysis

08/2022

Datei

202.9 KB

Anwendungshinweis 08/2022 PDF 202.9 KB
Selection guide mass flow controllers

11/2023

Datei

347.8 KB

Anwendungshinweis 11/2023 PDF 347.8 KB
REACH and RoHS declaration SFC

02/2024

Datei

84.6 KB

Zertifikat 02/2024 PDF 84.6 KB
Mass flow controllers brochure

11/2023

Datei

868.7 KB

Flyer 11/2023 PDF 868.7 KB

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