Fotolack-Dosierung
Präzise Dosierung bei der Auftragung von Fotolack
Wie unsere Sensoren einen Unterschied schaffen
Präzise Dosierung
Die LF-Sensoren von Sensirion können winzige Ströme von Fotoresists messen. Dies ermöglicht eine präzise Dosierung von Fotoresistmaterial bei der Herstellung von Halbleitern.
Kontinuierliche Überwachung
Die Echtzeitmessung ermöglicht eine kontinuierliche Überwachung des Fertigungsprozesses. Veränderungen in der Qualität des Fertigungsprozesses werden zuverlässig erkannt und durch frühzeitiges Eingreifen lassen sich Fertigungsfehler verhindern.
Hergestellt für Semicon
Die Sensoren sind für Halbleiteranwendungen geeignet und erfüllen alle Anforderungen an Kompatibilität, Qualität und Zuverlässigkeit
Darum sollte Sensirion Teil deiner Lösung sein
Bei führenden Anlagen im Einsatz
Weltweit führende Halbleiterunternehmen verlassen sich bei ihren Spin-Coating-Anlagen auf unsere Flüssigkeitsdurchflusssensoren für die Dosierung und Überwachung von Fotolack.
Entdecke passende Sensoren
SLQ-QT105
Hochreiner Durchflusssensor für Kohlenwasserstoffe bis 120 ml/min
- Sensor
- Flüssigkeitsdurchfluss
SLQ-QT500
Messung hochviskoser Flüssigkeiten mit bis zu 120 ml/min
- Sensor
- Flüssigkeitsdurchfluss
