Fotolack-Dosierung

Präzise Dosierung bei der Auftragung von Fotolack

Präzise Dosierung

Die LF-Sensoren von Sensirion können winzige Ströme von Fotoresists messen. Dies ermöglicht eine präzise Dosierung von Fotoresistmaterial bei der Herstellung von Halbleitern.

Kontinuierliche Überwachung

Die Echtzeitmessung ermöglicht eine kontinuierliche Überwachung des Fertigungsprozesses. Veränderungen in der Qualität des Fertigungsprozesses werden zuverlässig erkannt und durch frühzeitiges Eingreifen lassen sich Fertigungsfehler verhindern.

Hergestellt für Semicon

Die Sensoren sind für Halbleiteranwendungen geeignet und erfüllen alle Anforderungen an Kompatibilität, Qualität und Zuverlässigkeit

So trägt Sensirion zur Lösung bei

Bei führenden Anlagen im Einsatz

Weltweit führende Halbleiterunternehmen verlassen sich bei ihren Spin-Coating-Anlagen auf unsere Flüssigkeitsdurchflusssensoren für die Dosierung und Überwachung von Fotolack.

Dazugehörige Sensoren

portfolio.Active

SLQ-QT105

  • Sensor
  • Flüssigkeitsdurchfluss
portfolio.Active

SLQ-QT500

  • Sensor
  • Flüssigkeitsdurchfluss