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用于多种气体的高压质量流量计, 50sccm
规格
质量流量
满量程流速
0.05
slm
满量程流速
50
sccm
精确度
0.2%FS or 2% m.v.
最大工作压
10
bar
校准
Air, O2, N2, Ar, CO2, He, H2, CH4 和N2O
flow
流体连接器端口
Legris
通用
电源电压
14 - 26.4
V
平均电源电流
35000
μA
最大供电电流
50000
μA
接口
IO链接, ModBus, RS232
封装尺寸 (长x宽x高)
105 x 38.5 x 90.5
mm³
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姓名
类型
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尺寸