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High-precision, configurable, fast, gas flow sensor for OEM
规格
质量流量
满量程流速
0.05, 0.1, 0.2, 0.5, 1, 2, 5 和10 slm
slm
满量程流速
20 和50 and 100 sccm
sccm
精确度
0.08% FS or 0.8% SP
最大工作压
5
bar
校准
Air, H2, O2, He, Ar, CO2 和N2 and O2 flow
flow
通用
电源电压
14 - 26
V
平均电源电流
50000
uA
最大供电电流
320000
uA
接口
RS485
封装尺寸 (长x宽x高)
101.1 x 24.4 x 91
mm³
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类型
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尺寸