SFM5460

High-precision, configurable, fast, gas flow sensor for OEM

规格

质量流量
满量程流速
0.05, 0.1, 0.2, 0.5, 1, 2, 5 和10 slm
slm
满量程流速
20 和50 and 100 sccm
sccm
精确度
0.08% FS or 0.8% SP
最大工作压
5
bar
校准
Air, H2, O2, He, Ar, CO2 和N2 and O2 flow
flow
通用
电源电压
14 - 26
V
平均电源电流
50000
uA
最大供电电流
320000
uA
接口
RS485
封装尺寸 (长x宽x高)
101.1 x 24.4 x 91
mm³

技术下载

姓名
类型
日期
文件
尺寸
Datasheet SFC5460/SFM5460
数据表
09/2022
PDF
771.0 KB
Mounting Plate SFX54xx
CAD
07/2022
STEP
168.2 KB
STEP file downmount SFC5460/SFM5460
CAD
08/2022
STEP
25.2 MB
STEP file SFM5400
CAD
07/2022
ZIP
3.7 MB
Software SFC5xxx/SFM5xxx
查看器软件
04/2022
ZIP
1.1 MB
Engineering guide SFC5xxx/SFM5xxx
应用说明
08/2022
PDF
994.5 KB
Reference and flow conversions
应用说明
09/2021
PDF
293.7 KB
Reference and flow conversions calculator
应用说明
10/2021
XLSX
30.3 KB
SHDLC Interface Reference SFM5xxx/SFC5xxx
应用说明
02/2022
PDF
665.2 KB
Quick start guide SFC5xxx/SFM5xxx
用户指南
09/2021
PDF
669.9 KB
Recalibration tool SFC5xxx/SFM5xxx
用户指南
07/2022
PDF
1002.3 KB
Software manual SFC5xxx/SFM5xxx
用户指南
03/2022
PDF
1.3 MB
Recalibration tool software SFC5xxx/SFM5xxx
软件
06/2022
MSI
1.7 MB
Software library LabVIEW, C, C# SFC5xxx/SFM5xxx
软件
03/2022
ZIP
1.7 MB
Engineering guide SFM
用户指南
01/2021
PDF
592.1 KB
REACH and RoHS declaration SFM/SGM
证明书
07/2022
PDF
99.6 KB
Product flyer SFM
传单
08/2021
PDF
1013.9 KB

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