质量流量 | |||
---|---|---|---|
满量程流速
0.05, 0.1, 0.2, 0.5, 1, 2, 5, 10, 20, 50 and 100
| 0.05, 0.1, 0.2, 0.5, 1, 2, 5, 10, 20, 50 and 100 | slm | |
准确度
0.08% FS or 0.8% SP
| 0.08% FS or 0.8% SP | ||
最大工作压力
10
| 10 | bar | |
校准
Air, O2, N2, Ar, CO2, He, H2, CH4, N2O, SF6 and C4F8
| Air, O2, N2, Ar, CO2, He, H2, CH4, N2O, SF6 and C4F8 | flow | |
流体连接器端口
Swagelock, VCO, VCR, Downmount
| Swagelock, VCO, VCR, Downmount |
Generic | |||
---|---|---|---|
电源电压
14 - 26.4
| 14 - 26.4 | V | |
平均供应电流
50000
| 50000 | uA | |
最大供应电流
320000
| 320000 | uA | |
接口
Analog voltage, Analog current, Device net, IO link, RS485
| 模拟电压输出,模拟电流,设备网,IO-链接,RS485 | ||
尺寸 (长x宽x高)
101.1 x 24.4 x 91
| 101.1 x 24.4 x 91 | mm³ |
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