SFM5400

高精度、可配置、响应快的多气体流量传感器

规格

质量流量
满量程流速
0.05, 0.1, 0.2, 0.5, 1, 2, 5, 10, 20, 50 和100
slm
精确度
0.08% FS or 0.8% SP
最大工作压
10
bar
校准
Air, O2, N2, Ar, CO2, He, H2, CH4, N2O, SF6 和C4F8
flow
流体连接器端口
Swagelock, VCO, VCR, Downmount
通用
电源电压
14 - 26.4
V
平均电源电流
50000
uA
最大供电电流
320000
uA
接口
模拟电压, 模拟电流, 设备网, IO链接, RS485
封装尺寸 (长x宽x高)
101.1 x 24.4 x 91
mm³

技术下载

姓名
类型
日期
文件
尺寸
Datasheet SFC5400/SFM5400
数据表
09/2022
PDF
798.5 KB
Mounting Plate SFX54xx
CAD
07/2022
STEP
168.2 KB
STEP file SFC5400
CAD
10/2021
ZIP
3.2 MB
STEP file SFM5400
CAD
07/2022
ZIP
3.7 MB
Software SFC5xxx/SFM5xxx
查看器软件
04/2022
ZIP
1.1 MB
Engineering guide SFC5xxx/SFM5xxx
应用说明
08/2022
PDF
994.5 KB
Reference and flow conversions
应用说明
09/2021
PDF
293.7 KB
Reference and flow conversions calculator
应用说明
10/2021
XLSX
30.3 KB
SHDLC Interface Reference SFM5xxx/SFC5xxx
应用说明
02/2022
PDF
665.2 KB
Quick start guide SFC5xxx/SFM5xxx
用户指南
09/2021
PDF
669.9 KB
Recalibration tool SFC5xxx/SFM5xxx
用户指南
07/2022
PDF
1002.3 KB
Software manual SFC5xxx/SFM5xxx
用户指南
03/2022
PDF
1.3 MB
Recalibration tool software SFC5xxx/SFM5xxx
软件
06/2022
MSI
1.7 MB
Software library LabVIEW, C, C# SFC5xxx/SFM5xxx
软件
03/2022
ZIP
1.7 MB
Engineering guide SFM
用户指南
01/2021
PDF
592.1 KB
REACH and RoHS declaration SFM/SGM
证明书
07/2022
PDF
99.6 KB
Gas Flow Sensors brochure
传单
08/2021
PDF
1013.9 KB

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SFM5400质量流量计具有卓越的精度(误差<1%)、可重复性和长期稳定性,宽动态测量范围。SFM5400由金属制成,且高度可配置。它采用多种机械连接和电气接口,可测量50 sccm和200 slm之间的流量。传感器信号可在芯片上直接转换成数字、完全校准和温度补偿的信号。多个气体校准可以存储在一个器件中。此外,流量计可以检查激活的气体校准是否与实际存在气体相匹配。SFM5400的通用性使它成为工业和医疗应用的理想解决方案。

SFM5400质量流量计的杰出性能基于创新的CMOSens® 技术,它在一个CMOS硅芯片上集成了高精度传感元件和信号处理电路。结合优质材料,实现了一个持久稳定、快速和高精度的质量流量计。

SFM5400质量流量计是SFC5400质量流量控制器的无阀门版本。SFC5400质量流量控制器与质量流量计具有相同的性能特性,并适用于类似的应用,这两个产品可以完美结合在一起。在SFC5400 网站,你可以找到关于质量流量控制器的进一步信息和详细规格。

产品印象

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