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高精度、可配置、快速、混合气体传感器
规格
质量流量
满量程流速
0.05, 0.1, 0.2, 0.5, 1, 2, 5, 10, 20, 50 和100
slm
精确度
0.08% FS or 0.8% m.v
最大工作压
10
bar
校准
Air, O2, N2, Ar, CO2, He, H2, CH4, N2O, SF6 和C4F8
flow
流体连接器端口
Swagelock, VCO, VCR, Downmount
通用
电源电压
14 - 26.4
V
平均电源电流
50000
μA
最大供电电流
320000
μA
接口
模拟电压, 模拟电流, 设备网, IO链接, RS485
封装尺寸 (长x宽x高)
101.1 x 24.4 x 91
mm³
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类型
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