规格

质量流量

满量程流速

1, 2 和5

slm

满量程流速

50, 100, 200 和500

sccm

精确度

0.2%FS or 2% SP

最大工作压

bar

校准

Air, O2, N2, Ar, CO2, He, H2, CH4, N2O, SF6 和C4F8

flow

流体连接器端口

Downmount

通用

电源电压

14 - 26.4

平均电源电流

50000

最大供电电流

320000

接口

RS485

封装尺寸 (长x宽x高)

34 x 25 x 62.2

mm³

技术下载

姓名

类型

日期

文件

尺寸

Datasheet SFC5300/SFM5300 & SFC5330/SFM5330

数据表

08/2021

PDF

1.0 MB

Mounting plate SFX53xx

CAD

07/2022

STEP

196.0 KB

STEP file SFM5300

CAD

07/2022

ZIP

5.4 MB

Software SFC5xxx/SFM5xxx

查看器软件

04/2022

ZIP

1.1 MB

Engineering guide SFC5xxx/SFM5xxx

应用说明

08/2022

PDF

994.5 KB

Reference and flow conversions

应用说明

09/2021

PDF

293.7 KB

Reference and flow conversions calculator

应用说明

10/2021

XLSX

30.3 KB

SHDLC Interface Reference SFM5xxx/SFC5xxx

应用说明

02/2022

PDF

665.2 KB

Quick start guide SFC5xxx/SFM5xxx

用户指南

09/2021

PDF

669.9 KB

Recalibration tool SFC5xxx/SFM5xxx

用户指南

07/2022

PDF

1002.3 KB

Software manual SFC5xxx/SFM5xxx

用户指南

03/2022

PDF

1.3 MB

Python driver SFC5xxx/SFM5xxx

软件

03/2022

链接

Recalibration tool software SFC5xxx/SFM5xxx

软件

06/2022

MSI

1.7 MB

Software library LabVIEW, C, C# SFC5xxx/SFM5xxx

软件

03/2022

ZIP

1.7 MB

Engineering guide SFM

用户指南

01/2021

PDF

592.1 KB

REACH and RoHS declaration SFM/SGM

证明书

07/2022

PDF

99.6 KB

Product flyer SFM

传单

08/2021

PDF

1013.9 KB

评估该传感器请购买以下产品

EK-F5x

SFC5x00、SFM5x00评估套件

SFM3003-300-CET

即将上市

多功能数字流量和温度传感器，-150至+300slm

SFM4300-50-O

新品

空气与O2校准耐压传感器，50slm，O型圈接头

SFM4300-50-B

新品

空气与O2校准耐压传感器，50slm，底座安装

SFM4300-20-O

新品

多种气体校准耐压传感器，20slm，O型圈接头

SFM4300-20-B

新品

多种气体校准耐压传感器，20slm，底座安装

SFM5460

High-precision, configurable, fast, gas flow sensor for OEM

SFM5500-10slm

用于多种气体的高压质量流量计, 10slm

SFM5500-2slm

用于多种气体的高压质量流量计, 2 slm

SFM5500-0.5slm

用于多种气体的高压质量流量计, 0.5slm

SFM5500-50sccm

用于多种气体的高压质量流量计, 50sccm

SFM3013-300-CL

多功能数字流量传感器，耐压，300 slm

SFM3013-300-CLM

多功能数字流量传感器，氦氧混合气体校准，300 slm

SFM5300

高精度、可配置、响应快的数字流量传感器(适用于OEM)

SFM5400

高精度、可配置、响应快的多气体流量传感器

SFM4300-50-P

空气与O2校准耐压传感器，20slm，快插接头

SFM4300-20-P

推入式混合气体耐压传感器（20 slm）

SFM4200-160-B

空气与O2校准耐压传感器，160slm，底座安装

SFM4100-20-AIR-B

空气校准耐压传感器，20slm，底座安装

SFM4100-20-AIR

空气校准耐压传感器，20slm，快插接头

SFM4100-20-CO2-B

CO2校准耐压传感器，20slm，底座安装

SFM4100-20-CO2

CO2校准耐压传感器，20slm，快插接头

SFM4100-20-O2-B

O2校准耐压传感器，20slm，底座安装

SFM4100-20-O2

O2校准耐压传感器，20slm，快插接头

SFM4100-20-Ar-B

Ar校准耐压传感器，20slm，底座安装

SFM4100-20-Ar

Ar校准耐压传感器，20slm，快插接头

SFM4100-20-N2O-B

N2O校准耐压传感器，20slm，底座安装

SFM4100-20-N2O

N2O校准耐压传感器，20slm，快插接头

SFM3400-AW

可循环使用新生儿近端流量传感器（33 slm）

SFM3400-D

一次性新生儿近端流量传感器（33 slm）

SFM3300-AW

可循环使用呼吸设备近端流量传感器（250 slm）

SFM3300-D

一次性呼吸设备近端流量传感器（250 slm）

SFM3200-AW

可循环使用呼吸设备呼气传感器（250 slm）

SFM3200

可循环使用呼气传感器（适用于呼吸设备），250slm

SFM3119

紧凑型数字流量传感器（240 slm）

SFM3100

模拟流量和气体温度传感器（240 slm，带连接帽）

SFM3020

大流量呼吸设备模拟流量传感器（160 slm）

SFM3019

大流量呼吸设备数字流量传感器（240 slm）

SFM3003-300-CE

多功能低压降传感器（最大测量范围：-150 slm至+300 slm，带连接帽）

SFM3003-300-CL

多功能低压降数字流量传感器（300 slm，带连接帽）

SFM3000-200-C

多功能低压降数字流量传感器（200 slm，带连接帽）

SFM3000-200

多功能低压降数字流量传感器（200 slm）

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网站和语言

传感器评估

EK-F5x

SFC5x00、SFM5x00评估套件

SFM3003-300-CET

多功能数字流量和温度传感器，-150至+300slm

SFM4300-50-O

空气与O2校准耐压传感器，50slm，O型圈接头

SFM4300-50-B

空气与O2校准耐压传感器，50slm，底座安装

SFM4300-20-O

多种气体校准耐压传感器，20slm，O型圈接头

SFM4300-20-B

多种气体校准耐压传感器，20slm，底座安装

SFM5460

High-precision, configurable, fast, gas flow sensor for OEM

SFM5500-10slm

用于多种气体的高压质量流量计, 10slm

SFM5500-2slm

用于多种气体的高压质量流量计, 2 slm

SFM5500-0.5slm

用于多种气体的高压质量流量计, 0.5slm

SFM5500-50sccm

用于多种气体的高压质量流量计, 50sccm

SFM3013-300-CL

多功能数字流量传感器，耐压，300 slm

SFM3013-300-CLM

多功能数字流量传感器，氦氧混合气体校准，300 slm

SFM5300

高精度、可配置、响应快的数字流量传感器(适用于OEM)

SFM5400

高精度、可配置、响应快的多气体流量传感器

SFM4300-50-P

空气与O2校准耐压传感器，20slm，快插接头

SFM4300-20-P

推入式混合气体耐压传感器（20 slm）

SFM4200-160-B

空气与O2校准耐压传感器，160slm，底座安装

SFM4100-20-AIR-B

空气校准耐压传感器，20slm，底座安装

SFM4100-20-AIR

空气校准耐压传感器，20slm，快插接头

SFM4100-20-CO2-B

CO2校准耐压传感器，20slm，底座安装

SFM4100-20-CO2

CO2校准耐压传感器，20slm，快插接头

SFM4100-20-O2-B

O2校准耐压传感器，20slm，底座安装

SFM4100-20-O2

O2校准耐压传感器，20slm，快插接头

SFM4100-20-Ar-B

Ar校准耐压传感器，20slm，底座安装

SFM4100-20-Ar

Ar校准耐压传感器，20slm，快插接头

SFM4100-20-N2O-B

N2O校准耐压传感器，20slm，底座安装

SFM4100-20-N2O

N2O校准耐压传感器，20slm，快插接头

SFM3400-AW

可循环使用新生儿近端流量传感器（33 slm）

SFM3400-D

一次性新生儿近端流量传感器（33 slm）

SFM3300-AW

可循环使用呼吸设备近端流量传感器（250 slm）

SFM3300-D

一次性呼吸设备近端流量传感器（250 slm）

SFM3200-AW

可循环使用呼吸设备呼气传感器（250 slm）

SFM3200

可循环使用呼气传感器（适用于呼吸设备），250slm

SFM3119

紧凑型数字流量传感器（240 slm）

SFM3100

模拟流量和气体温度传感器（240 slm，带连接帽）

SFM3020

大流量呼吸设备模拟流量传感器（160 slm）

SFM3019

大流量呼吸设备数字流量传感器（240 slm）

SFM3003-300-CE

多功能低压降传感器（最大测量范围：-150 slm至+300 slm，带连接帽）