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High-precision, configurable, fast, digital flow sensor for OEM
规格
质量流量
满量程流速
1, 2 和5
slm
满量程流速
50, 100, 200 和500
sccm
精确度
0.2%FS or 2% SP
最大工作压
10
bar
校准
Air, O2, N2, Ar, CO2, He, H2, CH4, N2O, SF6 和C4F8
flow
流体连接器端口
Downmount
通用
电源电压
14 - 26.4
V
平均电源电流
50000
uA
最大供电电流
320000
uA
接口
RS485
封装尺寸 (长x宽x高)
34 x 25 x 62.2
mm³
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姓名
类型
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文件
尺寸