规范

质量流量
满量程流速
0.05
0.05 slm
满量程流速
50
50 sccm
准确度
0.2%FS or 2% SP
0.2%FS or 2% SP
最大工作压力
10
10 bar
校准
Air, O2, N2, Ar, CO2, He, H2, CH4 and N2O
Air, O2, N2, Ar, CO2, He, H2, CH4 and N2O flow
流体连接器端口
Legris
Legris
Generic
电源电压
14 - 26.4
14 - 26.4 V
平均供应电流
75000
75000 uA
最大供应电流
120000
120000 uA
接口
Device net, RS485
设备网,RS485
尺寸 (长x宽x高)
105 x 38.5 x 90.5
105 x 38.5 x 90.5 mm³

技术文档下载

名称 类型 日期 文件 规模
Datasheet SFC5500/SFM5500

02/2024

File

975.3 KB

数据表 02/2024 PDF 975.3 KB
Compatible fittings SFC5500/SFM5500

10/2022

File

193.4 KB

应用说明 10/2022 PDF 193.4 KB
STEP file SFC5500-50sccm/0.5slm/2slm/10slm

04/2022

File

3.4 MB

CAD 04/2022 STEP 3.4 MB
Software SFC5xxx/SFM5xxx

04/2022

File

1.1 MB

查看器软件 04/2022 ZIP 1.1 MB
Engineering guide SFC5xxx/SFM5xxx

07/2023

File

869.9 KB

应用说明 07/2023 PDF 869.9 KB
Mean time between failures analysis

08/2022

File

202.9 KB

应用说明 08/2022 PDF 202.9 KB
Reference and flow conversions

09/2021

File

293.7 KB

应用说明 09/2021 PDF 293.7 KB
Selection guide mass flow controllers

11/2023

File

347.8 KB

应用说明 11/2023 PDF 347.8 KB
SHDLC Interface Reference SFM5xxx/SFC5xxx

02/2022

File

665.2 KB

应用说明 02/2022 PDF 665.2 KB
Quick start guide SFC5xxx/SFM5xxx

09/2021

File

369.3 KB

用户指南 09/2021 PDF 369.3 KB
Recalibration tool SFC5xxx/SFM5xxx

07/2022

File

1002.3 KB

用户指南 07/2022 PDF 1002.3 KB
SFC5xxx DeviceNet communication interface reference

03/2023

File

796.4 KB

用户指南 03/2023 PDF 796.4 KB
Software manual SFC5xxx/SFM5xxx

03/2022

File

1.3 MB

用户指南 03/2022 PDF 1.3 MB
Python driver SFC5xxx/SFM5xxx

03/2022

Link

-

软件 03/2022 链接 -
Recalibration tool software SFC5xxx/SFM5xxx

06/2022

File

-

软件 06/2022 文件 -
Software library LabVIEW, C, C# SFC5xxx/SFM5xxx

03/2022

File

1.7 MB

软件 03/2022 ZIP 1.7 MB
REACH and RoHS declaration SFC

02/2024

File

84.6 KB

证明书 02/2024 PDF 84.6 KB
Mass flow controllers brochure

11/2023

File

868.7 KB

传单 11/2023 PDF 868.7 KB

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