规范

质量流量
满量程流速
2
2 slm
满量程流速
2000
2000 sccm
准确度
0.08% FS or 0.8% SP
0.08% FS or 0.8% SP
最大工作压力
8
8 bar
校准
Air, O2, N2, Ar, CO2, He, H2, CH4 and N2O
Air, O2, N2, Ar, CO2, He, H2, CH4 and N2O flow
流体连接器端口
Legris
Legris
Generic
电源电压
14 - 26.4
14 - 26.4 V
平均供应电流
200000
200000 uA
最大供应电流
320000
320000 uA
接口
Device net, RS485
设备网,RS485
尺寸 (长x宽x高)
105 x 38.5 x 90.5
105 x 38.5 x 90.5 mm³

技术文档下载

名称 类型 日期 文件 规模
Datasheet SFC5500/SFM5500

02/2024

File

975.3 KB

数据表 02/2024 PDF 975.3 KB
Compatible fittings SFC5500/SFM5500

10/2022

File

193.4 KB

应用说明 10/2022 PDF 193.4 KB
STEP file SFC5500-50sccm/0.5slm/2slm/10slm

04/2022

File

3.4 MB

CAD 04/2022 STEP 3.4 MB
Software SFC5xxx/SFM5xxx

04/2022

File

1.1 MB

查看器软件 04/2022 ZIP 1.1 MB
Engineering guide SFC5xxx/SFM5xxx

07/2023

File

869.9 KB

应用说明 07/2023 PDF 869.9 KB
Mean time between failures analysis

08/2022

File

202.9 KB

应用说明 08/2022 PDF 202.9 KB
Reference and flow conversions

09/2021

File

293.7 KB

应用说明 09/2021 PDF 293.7 KB
Selection guide mass flow controllers

11/2023

File

347.8 KB

应用说明 11/2023 PDF 347.8 KB
SHDLC Interface Reference SFM5xxx/SFC5xxx

02/2022

File

665.2 KB

应用说明 02/2022 PDF 665.2 KB
Quick start guide SFC5xxx/SFM5xxx

09/2021

File

369.3 KB

用户指南 09/2021 PDF 369.3 KB
Recalibration tool SFC5xxx/SFM5xxx

07/2022

File

1002.3 KB

用户指南 07/2022 PDF 1002.3 KB
SFC5xxx DeviceNet communication interface reference

03/2023

File

796.4 KB

用户指南 03/2023 PDF 796.4 KB
Software manual SFC5xxx/SFM5xxx

03/2022

File

1.3 MB

用户指南 03/2022 PDF 1.3 MB
Python driver SFC5xxx/SFM5xxx

03/2022

Link

-

软件 03/2022 链接 -
Recalibration tool software SFC5xxx/SFM5xxx

06/2022

File

-

软件 06/2022 文件 -
Software library LabVIEW, C, C# SFC5xxx/SFM5xxx

03/2022

File

1.7 MB

软件 03/2022 ZIP 1.7 MB
REACH and RoHS declaration SFC

02/2024

File

84.6 KB

证明书 02/2024 PDF 84.6 KB
Mass flow controllers brochure

11/2023

File

868.7 KB

传单 11/2023 PDF 868.7 KB

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EK-F5x
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