规范
| 质量流量 | |||
|---|---|---|---|
| 满量程流速
0.5
| 0.5 | slm | |
| 满量程流速
500
| 500 | sccm | |
| 准确度
0.08% FS or 0.8% SP
| 0.08% FS or 0.8% SP | ||
| 最大工作压力
5
| 5 | bar | |
| 校准
Air, O2, N2, Ar, CO2, He, H2, CH4 and N2O
| Air, O2, N2, Ar, CO2, He, H2, CH4 and N2O | flow | |
| 流体连接器端口
Legris
| Legris |
| Generic | |||
|---|---|---|---|
| 电源电压
14 - 26.4
| 14 - 26.4 | V | |
| 平均供应电流
75000
| 75000 | uA | |
| 最大供应电流
120000
| 120000 | uA | |
| 接口
Device net, RS485
| 设备网,RS485 | ||
| 尺寸 (长x宽x高)
115 x 24.6 x 91
| 115 x 24.6 x 91 | mm³ |
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| 名称 | 产品介绍 | 系列 | 类别 |
|---|---|---|---|
 EK-F5x | SFC5x00、SFM5x00, SFC6xxx, SFM6xxx评估套件 | EK-F5x | 质量流量控制器 |
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