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多功能质量流量控制器,线上分销,0.5 slm
规格
质量流量
满量程流速
0.5
slm
满量程流速
500
sccm
精确度
0.08% FS or 0.8% SP
最大工作压
5
bar
校准
Air, O2, N2, Ar, CO2, He, H2, CH4 和N2O
flow
流体连接器端口
Legris
通用
电源电压
14 - 26.4
V
平均电源电流
75000
uA
最大供电电流
120000
uA
接口
设备网, RS485
封装尺寸 (长x宽x高)
115 x 24.6 x 91
mm³
技术下载
姓名
类型
日期
文件
尺寸