SFC5460

Versatile MFC for OEM projects with high unit quantities

规格

质量流量
满量程流速
0.05, 0.1, 0.2, 0.5, 1, 2, 5 和10 slm
slm
满量程流速
20 和50 and 100 sccm
sccm
精确度
0.08% FS or 0.8% SP
最大工作压
5
bar
校准
Air, H2, O2, He, Ar, CO2 和N2 and O2 flow
flow
流体连接器端口
Swagelok, VCR, VCO, W-Seal, Downmount
通用
电源电压
14 - 26
V
平均电源电流
50000
uA
最大供电电流
320000
uA
接口
RS485
封装尺寸 (长x宽x高)
101.1 x 24.4 x 91
mm³

技术下载

姓名
类型
日期
文件
尺寸
Datasheet SFC5460/SFM5460
数据表
09/2022
PDF
771.0 KB
STEP file downmount SFC5460/SFM5460
CAD
08/2022
STEP
25.2 MB
Software SFC5xxx/SFM5xxx
查看器软件
04/2022
ZIP
1.1 MB
Engineering guide SFC5xxx/SFM5xxx
应用说明
08/2022
PDF
994.5 KB
Mean time between failures analysis
应用说明
08/2022
PDF
202.9 KB
Reference and flow conversions
应用说明
09/2021
PDF
293.7 KB
Selection guide mass flow controllers
应用说明
07/2022
PDF
255.6 KB
SHDLC Interface Reference SFM5xxx/SFC5xxx
应用说明
02/2022
PDF
665.2 KB
Quick start guide SFC5xxx/SFM5xxx
用户指南
09/2021
PDF
669.9 KB
Recalibration tool SFC5xxx/SFM5xxx
用户指南
07/2022
PDF
1002.3 KB
Software manual SFC5xxx/SFM5xxx
用户指南
03/2022
PDF
1.3 MB
Recalibration tool software SFC5xxx/SFM5xxx
软件
06/2022
MSI
1.7 MB
Software library LabVIEW, C, C# SFC5xxx/SFM5xxx
软件
03/2022
ZIP
1.7 MB
Mounting Plate SFX54xx
CAD
07/2022
STEP
168.2 KB
Mass Flow Controllers brochure
传单
11/2022
PDF
582.5 KB
Product flyer SFC PV applications
传单
02/2013
PDF
543.4 KB
REACH and RoHS declaration SFC
证明书
07/2022
PDF
95.0 KB

评估该传感器请购买以下产品

SFC5400质量流量控制器以优异的精度、长期稳定性和可重复性测量和控制质量流量,覆盖宽动态测量范围。SFC5400可高度配置,其外壳由金属制成。此外,流量控制器可使用各种电气接口和各种流体连接件,测量50 sccm到200 slm的最大流量。传感器信号可在芯片上直接转换成100%校准和经温度补偿的数字信号。多气体校准可存储在单个器件上。此外,流量控制器还可检查激活的气体校准与实际气体是否匹配。SFC5400的通用性使之成为了工业和医疗应用的理想解决方案。

SFC5400质量流量控制器与所有传感器产品一样,依赖创新的CMOSens® 技术,在一个CMOS硅芯片上集成了高精度传感器元件及模拟和数字处理电路,可保证优异的性能。配合优质材料,SFC5400可实现持久稳定、快速和高度精确的流量控制。

SFC5400质量流量控制器也提供无阀版本。SFM5400质量流量计与质量流量控制器具有相同性能特性,可用在类似应用当中,SFC5400和SFM5400可完美组合在一起。在SFM5400网站,您可以找到关于质量流量控制器的更多信息和详细规格。

对于大批量的项目,我们可根据您的具体要求调整或开发您需要的质量流量控制器。

最新质量流量控制器

适合您的智能传感器

Sensirion 传感器解决方案用于各种应用和市场。我们可靠的环境和流量传感器可提高能源效率、改善健康、保障安全与舒适。