规范

质量流量
满量程流速
1, 2, 5, 10, 20, 50 and 100
1, 2, 5, 10, 20, 50 and 100 slm
满量程流速
50, 100, 200 and 500
50, 100, 200 and 500 sccm
准确度
0.08% FS or 0.8% SP
0.08% FS or 0.8% SP
最大工作压力
5
5 bar
校准
Air, O2, N2, Ar, CO2, He, H2, CH4, N2O, SF6 and C4F8
Air, O2, N2, Ar, CO2, He, H2, CH4, N2O, SF6 and C4F8 flow
流体连接器端口
Swagelock, VCO, VCR, Downmount
Swagelock, VCO, VCR, Downmount
Generic
电源电压
14 - 26.4
14 - 26.4 V
平均供应电流
50000
50000 uA
最大供应电流
320000
320000 uA
接口
Analog voltage, Analog current, Device net, IO link, RS485
模拟电压输出,模拟电流,设备网,IO-链接,RS485
尺寸 (长x宽x高)
101.1 x 24.4 x 91
101.1 x 24.4 x 91 mm³

技术文档下载

名称 类型 日期 文件 规模
Datasheet SFC5400/SFM5400

05/2023

File

798.8 KB

数据表 05/2023 PDF 798.8 KB
SFC5xxx DeviceNet communication interface reference

03/2023

File

796.4 KB

用户指南 03/2023 PDF 796.4 KB
STEP file SFC5400

10/2021

File

3.2 MB

CAD 10/2021 ZIP 3.2 MB
Software SFC5xxx/SFM5xxx

04/2022

File

1.1 MB

查看器软件 04/2022 ZIP 1.1 MB
Engineering guide SFC5xxx/SFM5xxx

07/2023

File

869.9 KB

应用说明 07/2023 PDF 869.9 KB
Mean time between failures analysis

08/2022

File

202.9 KB

应用说明 08/2022 PDF 202.9 KB
Reference and flow conversions

09/2021

File

293.7 KB

应用说明 09/2021 PDF 293.7 KB
Selection guide mass flow controllers

11/2023

File

347.8 KB

应用说明 11/2023 PDF 347.8 KB
SHDLC Interface Reference SFM5xxx/SFC5xxx

02/2022

File

665.2 KB

应用说明 02/2022 PDF 665.2 KB
Quick start guide SFC5xxx/SFM5xxx

09/2021

File

369.3 KB

用户指南 09/2021 PDF 369.3 KB
Recalibration tool SFC5xxx/SFM5xxx

07/2022

File

1002.3 KB

用户指南 07/2022 PDF 1002.3 KB
Software manual SFC5xxx/SFM5xxx

03/2022

File

1.3 MB

用户指南 03/2022 PDF 1.3 MB
Python driver SFC5xxx/SFM5xxx

03/2022

Link

-

软件 03/2022 链接 -
Recalibration tool software SFC5xxx/SFM5xxx

06/2022

File

-

软件 06/2022 文件 -
Software library LabVIEW, C, C# SFC5xxx/SFM5xxx

03/2022

File

1.7 MB

软件 03/2022 ZIP 1.7 MB
Mounting Plate SFX54xx

07/2022

File

168.2 KB

CAD 07/2022 STEP 168.2 KB
REACH and RoHS declaration SFC

02/2024

File

84.6 KB

证明书 02/2024 PDF 84.6 KB
Mass flow controllers brochure

11/2023

File

868.7 KB

传单 11/2023 PDF 868.7 KB

评估传感器

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名称 产品介绍 系列 类别
EK-F5x
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