规范
| 质量流量 | |||
|---|---|---|---|
| 满量程流速
1, 2 and 5
| 1, 2 and 5 | slm | |
| 满量程流速
50, 100, 200 and 500
| 50, 100, 200 and 500 | sccm | |
| 准确度
0.2%FS or 2% SP
| 0.2%FS or 2% SP | ||
| 最大工作压力
10
| 10 | bar | |
| 校准
Air, O2, N2, Ar, CO2, He, H2, CH4, N2O, SF6 and C4F8
| Air, O2, N2, Ar, CO2, He, H2, CH4, N2O, SF6 and C4F8 | flow | |
| 流体连接器端口
Downmount
| 下置式安装 |
| Generic | |||
|---|---|---|---|
| 电源电压
14 - 26.4
| 14 - 26.4 | V | |
| 平均供应电流
50000
| 50000 | uA | |
| 最大供应电流
320000
| 320000 | uA | |
| 接口
RS485
| RS485 | ||
| 尺寸 (长x宽x高)
34 x 25 x 62.2
| 34 x 25 x 62.2 | mm³ |
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评估传感器
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| 名称 | 产品介绍 | 系列 | 类别 |
|---|---|---|---|
 EK-F5x | SFC5x00、SFM5x00, SFC6xxx, SFM6xxx评估套件 | EK-F5x | 质量流量控制器 |
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