SFC5330

小型质量流量控制器(成本敏感,大批量OEM应用)

规范

质量流量
满量程流速
1, 2 and 5
1, 2 and 5 slm
满量程流速
50, 100, 200 and 500
50, 100, 200 and 500 sccm
准确度
0.2%FS or 2% SP
0.2%FS or 2% SP
最大工作压力
10
10 bar
校准
Air, O2, N2, Ar, CO2, He, H2, CH4, N2O, SF6 and C4F8
Air, O2, N2, Ar, CO2, He, H2, CH4, N2O, SF6 and C4F8 flow
流体连接器端口
Downmount
下置式安装
Generic
电源电压
14 - 26.4
14 - 26.4 V
平均供应电流
50000
50000 uA
最大供应电流
320000
320000 uA
接口
RS485
RS485
尺寸 (长x宽x高)
34 x 25 x 62.2
34 x 25 x 62.2 mm³

下载

名称 类型 日期 文件 规模
Datasheet SFC5300/SFM5300 & SFC5330/SFM5330

05/2023

File

895.6 KB

数据表 05/2023 PDF 895.6 KB
Engineering guide SFC5xxx/SFM5xxx

07/2023

File

869.9 KB

应用说明 07/2023 PDF 869.9 KB
Mean time between failures analysis

08/2022

File

202.9 KB

应用说明 08/2022 PDF 202.9 KB
Reference and flow conversions

09/2021

File

293.7 KB

应用说明 09/2021 PDF 293.7 KB
Selection guide mass flow controllers

11/2023

File

347.8 KB

应用说明 11/2023 PDF 347.8 KB
SHDLC Interface Reference SFM5xxx/SFC5xxx

02/2022

File

665.2 KB

应用说明 02/2022 PDF 665.2 KB
Quick start guide SFC5xxx/SFM5xxx

09/2021

File

369.3 KB

用户指南 09/2021 PDF 369.3 KB
Recalibration tool SFC5xxx/SFM5xxx

07/2022

File

1002.3 KB

用户指南 07/2022 PDF 1002.3 KB
Software manual SFC5xxx/SFM5xxx

03/2022

File

1.3 MB

用户指南 03/2022 PDF 1.3 MB
Python driver SFC5xxx/SFM5xxx

03/2022

Link

-

软件 03/2022 链接 -
Recalibration tool software SFC5xxx/SFM5xxx

06/2022

File

-

软件 06/2022 文件 -
Software library LabVIEW, C, C# SFC5xxx/SFM5xxx

03/2022

File

1.7 MB

软件 03/2022 ZIP 1.7 MB
Software SFC5xxx/SFM5xxx

04/2022

File

1.1 MB

软件 04/2022 ZIP 1.1 MB
Mounting plate SFX53xx

07/2022

File

196.0 KB

Drawings/CAD 07/2022 STEP 196.0 KB
STEP file SFC5300

10/2021

File

4.7 MB

Drawings/CAD 10/2021 ZIP 4.7 MB
REACH and RoHS declaration SFC

07/2024

File

90.6 KB

证明书 07/2024 PDF 90.6 KB
Mass flow controllers brochure

05/2024

File

540.8 KB

传单 05/2024 PDF 540.8 KB

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