后续产品
| 名称 | 产品介绍 | 系列 | 类别 |
|---|---|---|---|
 SFC5400 | 多功能质量流量控制器 | SFC5400 | 质量流量控制器 |
规范
| 质量流量 | |||
|---|---|---|---|
| 满量程流速
1, 2, 5 and 10
| 1, 2, 5 and 10 | slm | |
| 准确度
0.2%FS or 2% SP
| 0.2%FS or 2% SP | ||
| 最大工作压力
10
| 10 | bar | |
| 校准
Air, O2, N2, Ar and CO2
| Air, O2, N2, Ar and CO2 | flow | |
| 流体连接器端口
Swagelock, VCO, VCR, Downmount
| Swagelock, VCO, VCR, Downmount |
| Generic | |||
|---|---|---|---|
| 电源电压
14 - 26.4
| 14 - 26.4 | V | |
| 平均供应电流
50000
| 50000 | uA | |
| 最大供应电流
320000
| 320000 | uA | |
| 接口
Analog voltage
| 模拟电压输出 | ||
| 尺寸 (长x宽x高)
105 x 38.5 x 90.5
| 105 x 38.5 x 90.5 | mm³ |
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